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RF探针台

来源: 发布时间:2023年06月26日

桌面探针系统

众所周知探针台用于半导体测试,特别是6英寸或者12英寸的晶圆探针台。因为受尺寸限制,导致大尺寸等规格不符的待测物无法进行测试,从而使得众多产品无法得到验证。

对于除了半导体、晶圆、芯片需要测试以外,如同大尺寸电路板、高频高速电路、射频微波器件、高速连接器等所需测试的产品也是需要进行阻抗、S参数的测试。特别是现在高频高速已经进入了56G、112G,单波NRZ通道已经到了56GHz的电信号的时代。所以高频、高速等系列电路板各个通道以及载体都需要进行产品的性能测试。

因此研发推出了桌面探针系统及各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。 探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。RF探针台

手动探针台基本配置(包含探针台主体、显微镜、针座、探针等),探针台主体-可测试晶圆尺寸:4英寸weili-样品台行程:100mm*100mm-移动分辨率:~:360度-低漏电底栅接口,标准Triax输出-可选400度高温样品台显微镜-三目连续变倍体镜,LED环形照明-光学变倍总倍率45倍,物镜,总放大倍率约700倍针座-磁性吸附底座,XYZ移动范围:12mm-移动分辨率2um-标配4个,可装6个-漏电设计,漏电流探针低于100fA-Triax标准接口输出,Keithley原装低噪声Triax线缆-低漏设计电探针,针尖探针探针直径标配10um,1um尺寸。 湖南探针台产品介绍2022年探针台市场规模达到16亿美元。

桌面探针系统之射频探针:把传统探针台的体积大、待测物规格限制等一系列缺点改进。我们把探针台的两个探针臂直接分离出来,使用磁吸开关固定在配重块上,装配我们自行研发GS/SG/GSG/GSSG和差分间距可调射频探针,高频率40GHz和67GHz(质量的阻抗控制50欧±2/100欧±2,探针的pitch可覆盖150um~1250um的范围)放在水平的桌面上进行使用、测试。可在桌面上任意活动,根据具体测试环境调节。各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源,用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路,其中一路为导入光通路,另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源,波长范围200nm~20000nm,中间可加入多个波片过滤,起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计,对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关,精确控制导入光的辐照时间,精度1ms,范围2ms~∞,在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像,其中一路为1倍成像,可选择第2路成像,为物镜的0.25~10倍率,通常在高低温测试系统里会用到,同一个物镜不切换,得到两个不同视野的成像。探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上。

N系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计,结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节,显微镜放大倍率高,操作方便。同时支持多种功能的升级,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了运用。产品优势:显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以加载探针卡。可升级性强,比较高可升级220G高频,可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。高低温真空探针测试系统。山东PIV测试探针台

探针台搭配源表或者半导体参数分析仪进行电参数测试。RF探针台

低温探针台中低电流测量的注意事项:低电流测量(低于 1 nA)是评估成熟和新兴半导体器件的设计和制造质量的关键工具。在这种情况下,器件材料、生长参数或器件几何形状的修改会导致器件中出现不希望的和无关的电流路径。这些所谓的漏电流可能是由材料缺陷、栅极氧化物形态、衬底选择和电场分布造成的,并导致器件性能下降——常见的是功耗过大。由于许多这些泄漏路径背后的物理机制具有众所周知的温度依赖性,因此低温探测测量可以成为识别电流泄漏的精确机制的有用评估工具,特别是对于新材料和器件架构。RF探针台

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