无论是芯片设计的可靠性验证测试，或是晶圆量产中的WAT测试和CP测试，探针台在其中起着至关重要的作用。探针台设备主要技术壁垒在系统的精细定位、微米级运动以及高准确率通信等关键参数。目前全球主要探针台市场仍主要被美、日、韩等国所占据。近年来在国家对半导体产业的大力扶持下，国产化技术的发展进程不断加快，中国半导体设备企业将加速迎来国产替代的机会。在国内半导体设备市场中，探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。探针台怎么选合适的配置？TFT探针台
光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源，用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路，其中一路为导入光通路，另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源，波长范围200nm~20000nm，中间可加入多个波片过滤，起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计，对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关，精确控制导入光的辐照时间，精度1ms，范围2ms~∞，在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像，其中一路为1倍成像，可选择第2路成像，为物镜的0.25~10倍率，通常在高低温测试系统里会用到，同一个物镜不切换，得到两个不同视野的成像。非标探针台维修高低温真空探针台的稳定性更高。
高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。
探针台如何工作？探针台可以固定晶圆或芯片，并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到精确的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。超高频测试探针台系统。
探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。半导体探测系统是一种成熟的工具，用于测试硅晶片，裸片和开放式微芯片上的电路和器件。重庆光电流测试探针台
卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离。TFT探针台
高温探针台作为一种高科技产品，价格昂贵，生产成本高，这需要我们在使用时格外注意，以免造成经济损失。那么，我们在使用时应该如何维护和保养高温探针台呢？1、避免碰撞在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2、仪器的运输仪器运输时，请先拔掉电源线插头。高温探针台运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3、仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。4、清洁探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。高温探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。5、停止运行停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员一定要严格按要求进行使用，以保证数据的准确和仪器的正常使用。6、工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好的是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用电源：220±10%，50~60HzTFT探针台
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