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低阻测试探针台

来源: 发布时间:2023年06月22日

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速露件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流、电阳以及电容电压特性线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途.激光探针台主要检测内容:1、激光打标;2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);3、驱除短路点;4、激光断线,5、干扰芯片测试;除了以几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:1.微小连接点信号引出2.失效分析失效确认3.FIB电路修改后电学特性确认4.晶圆可靠性验证探针台由哪些部分组成?低阻测试探针台

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源,用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路,其中一路为导入光通路,另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源,波长范围200nm~20000nm,中间可加入多个波片过滤,起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计,对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关,精确控制导入光的辐照时间,精度1ms,范围2ms~∞,在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像,其中一路为1倍成像,可选择第2路成像,为物镜的0.25~10倍率,通常在高低温测试系统里会用到,同一个物镜不切换,得到两个不同视野的成像。重庆GaAs探针台探针台与显示器一体化设计。

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。

半导体产业快速发展,探针台市场需求攀升,新思界产业分析人士表示,探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备,随着全球半导体产业向中国转移,我国探针台市场需求持续攀升。当前受益于5G、人工智能等产业发展带动,半导体芯片出货量维持增长趋势,则探针台行业长期景气。在生产方面,长期以来探针台市场被日企垄断,台企在市场中具有一定影响力,而国内企业在全球中占比较小。但随着国内探针台生产技术不断革新,国产化率提升,预计未来不久将实现国产替代。探针台如何来工作呢?

探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。桌面探针台升级

如何维护和保养高温探针台呢?低阻测试探针台

    根据新思界产业研究中心发布的《2022-2026年中国半导体探针台行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,中国探针台市场和全球相似,在2020年受到行情影响,半导体芯片出货量略有下降,探针台市场规模同比上年减少了10%左右。但随着行情得到控制,在人工智能大背景下,半导体芯片出货量增长,探针台市场规模回升,预计到2022年达到16亿元。探针台行业具有较高的技术壁垒,在全球中市场呈现高度集中趋势,东京精密和东京电子垄断市场,二者占比高达74%左右。在国内市场,以上两家企业占比高达68%左右本土企业占比32%。我国也有企业布局在探针台领域,且技术不断创新,已取得实质性突破。 低阻测试探针台

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