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芯片图形激光维修

来源: 发布时间:2023年06月21日

微纳加工-激光掩模版的作用:

光刻掩模版,别称“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆盖带有图案的金属图形,实现对光线的遮挡或透过功能,是微电子光刻工艺中的一个工具或者板材。我们利用光罩可以实现微电子工艺中的图形传递。光刻掩模版的加工技术主要有两种:其一为激光直写技术;其二为电子束直写部分,两种技术区别在于光源不同,实现的精度有所区别。掩模版是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形,光线透过它,把设计图形透射在光刻胶上,掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”。我们可以通过把图形做在掩模版上通过下一步曝光工艺(下期讲解)转移到我们的基底上,基底上有对应的相关图形了,但是通过曝光基底上还没有刻上图形,只是光刻胶有了相关图形。光刻胶的是一种对光敏感的材料,通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化。有可能会变容易溶解也可能变得不容易,这时候再通过显影液,不稳定的部分将会被处理掉,剩下的就是我们想要的图形。 激光开封机的使用环境;芯片图形激光维修

光刻掩膜版层数增加,自然是成本增加,同时也带动了光刻胶、光刻、刻蚀等附带工艺材料的成本增加。因为人们实现光刻工艺提升的条件是光刻掩膜版层数的增加,就像使用一层光掩膜版曝光转移图案不够清晰那样,多曝光几次图案就更加清晰。据悉,在40nm左右的时候,转移图案的过程中,需要使用到40层左右的掩膜版,到了14nm的时候,就会使用到60层的掩膜版,而到了7nm,至少需要80层的掩膜版,每层加一层,就会带来成本的提升,可想而知,80层的光掩膜版,成本让人难以接受,成本难以控制,就难以大规模量产芯片。New Wave激光切割超快激光玻璃微加工。

常见、有代表性的激光应用之激光打标/雕刻:在各种材料和几乎所有行业均得到广泛应用,包括:接骨螺钉、起搏器、植入装置、医疗工具和仪器、手术器械、手术刀片、导引线、标志带、一次性用品、内窥镜器具、牙科工具、条形码、二维码、长久标记。

常见、有代表性的激光应用之激光打孔:微流体传感器、电泳膜片钳、薄膜传感器和传感器一次性用品;航空航天、汽车制造、电子仪表、化工等行业。人造金刚石和天然金刚石拉丝模的生产及钟表和仪表的宝石轴承、飞机叶片、多层印刷线路板等行业的生产中应用较多。

常见、有代表性的激光应用之激光清洗:可看做是一种烧蚀工艺,通过将激光能量汇聚到材料表面并被吸收后使表层、涂层气化的工艺过程,同时对底层基材的影响小。该工艺可应用于多种材料,包括金属、塑料、复合材料和玻璃。

常见、有代表性的激光应用之激光熔覆:使用激光作为热源将金属涂层添加到部件表面上的过程。该工艺通常用于生成功能性更高的保护涂层及修复损坏或磨损的表面。激光熔覆可延长部件受到腐蚀、磨损或冲击的设备和机器的寿命。如,工程机械行业采用该技术提高其产品的耐磨性并延长设备的使用寿命。通常,利用激光来熔化金属粉末,以在基底上添加涂层,可在钢或不锈钢基材上应用保护涂层,例如碳化钨、镍合金或钴合金。该工艺可在涂层和基体材料之间形成高结合强度和低稀释率的冶金结合,从而增强金属的防腐蚀性与耐磨性。 激光热处理,激光淬火。

激光钻孔加工常见的4种方法:

3.树脂表面的直接成孔技术:具体操作方式有以下4种:a.基板是用树脂铜箔在内层板上压涂,然后将铜箔全部蚀刻除去,便可用CO2激光直接在树脂表面打孔,再继续按镀覆工艺进行打孔。b.用FR-4半固化片材及铜箔代替涂树脂铜箔的工艺方法,与用铜箔制作相类似。C.涂覆感光树脂及后续层压铜箔的工艺方法。d.采用干膜作为介质层,与铜箔一起进行压贴工艺制备。

4.超薄铜箔直接烧蚀的工艺方法:在用树脂铜箔两面压覆内层芯板后,可以用“半腐蚀法”将铜箔厚度17m经腐蚀减薄至5微米,再经过黑氧化处理,即可获得CO2激光成孔。 使用超快激光脉冲的微加工技术;HSL-5000激光报价

超快激光可用于微加工多种材料;芯片图形激光维修

常见、有代表性的激光应用之激光光源:如,用半导体激光合成白光光源。

常见、有代表性的激光应用之激光通信:激光大气通信的发送设备主要由激光器(光源)、光调制器、光学发射天线(透镜)等组成;接收设备主要由光学接收天线、光检测器等组成。

常见、有代表性的激光应用之激光笔:是把可见激光设计成便携、易握的笔型发射器。常见有红光(650-660nm, 635nm)、绿光(515-520nm, 532nm)、蓝光(445-450nm)和蓝紫光(405nm)等,功率常以毫瓦为单位。会报、教学、导赏人员会使用它投映出光点或光线指向物体,不可对人,尤其需注意人眼防护。 芯片图形激光维修

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