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Mask激光调阻

来源: 发布时间:2023年06月19日

在芯片制造中,光刻是至关重要的一个环节,这是将设计好的芯片版图转移到晶圆上的过程,类似于胶片相机中的胶卷曝光后,利用底片进行洗制照片的过程。一个底片可以洗出来很多照片,一样的道理,通过芯片版图,就是要复制出来很多芯片,只是这个过程要比洗相片复杂繁琐太多。芯片版图,也称为光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是决定芯片造价成本的关键,一般来说,一个芯片生产线,所需要的大致设备、材料都是类似的,只是随着芯片制程工艺的不断提升,所需要的设备精密度越高,而材料纯度也是越高,这些都会导致生产成本的不断提升,不过,上升快的则是光刻掩膜版所带来的成本。激光应用之激光切割;Mask激光调阻

常见、有代表性的激光应用之激光冷却:利用激光和原子的相互作用减速原子运动以获得低温原子的高新技术。这一重要技术早期主要目的是为了精确测量各种原子参数,用于高分辨率激光光谱和超高精度的量子频标(原子钟),后来成为实现原子玻色-爱因斯坦凝聚的关键实验方法。激光冷却有许多应用,如:原子光学、原子刻蚀、原子钟、光学晶格、光镊子、玻色-爱因斯坦凝聚、原子激光、高分辨率光谱及光和物质的相互作用的基础研究等。

1997年诺贝尔物理学奖被授予朱棣文、克劳德·科恩·塔努吉和威廉·D·菲利普斯,以表彰他们利用激光冷却和捕获原子的方法。 FA100S激光镭射机激光打标机的故障分析;

常见、有代表性的激光应用之激光传感器:laser transducer,利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光检测器和测量电路组成。激光传感器是新型测量仪表,它的优点是能实现无接触远距离测量,速度快,精度高,量程大,抗光、电干扰能力强等。激光是标准的尺。

常见、有代表性的激光应用之激光测云仪:利用激光在大气层中的衰减来判断云层。当激光在大气层中穿越时,由于发射的能量与接收的能量之间有能量差,利用能量的衰减度与云层的水分子的含量多少来判断云层结构和距离的仪器。

近年来,半导体激光器在医疗、传感、光学通讯、航空航天等领域的应用市场不断扩大,半导体激光器的种类和制造工艺也更加丰富多样。

许多新的应用领域要求半导体激光器具有更高的输出功率。增加输出功率主要有两种方式:1)提高芯片生长技术从而增加单发射腔半导体激光器输出功率。2)提阵列高半导体激光器发光单元的个数从而提高输出功率。为进一步提高光输出功率,提出了多种封装技术,其中包括多单管模组、水平叠阵、垂直叠阵、面阵。


激光钻孔加工技术方法;

光刻掩膜版质量的优劣直接影响光刻的质量。在芯片制造过程中需要经过十几甚至几十次的光刻,每次光刻都需要一块光刻掩膜版,每块光刻掩膜版的质量都会影响光刻的质量。光刻过程中,通常通过一系列光学系统,将掩膜版上的图形按照 4:1 的比例投影在晶圆上的光刻胶涂层上。由于在制作过程中存在一定的设备或工艺局限,光掩膜上的图形并不可能与设计图像完全一致,即在后续的硅片制造过程中,掩膜板上的制造缺陷和误差也会伴随着光刻工艺被引入到芯片制造中。因此光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。


掩模版激光都有哪些种类?重庆激光厂家直销

光刻掩模版的加工技术;Mask激光调阻

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


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