您好,欢迎访问

商机详情 -

HSL-4000激光磨片

来源: 发布时间:2023年06月19日

常见、有代表性的激光应用之激光打标/雕刻:在各种材料和几乎所有行业均得到广泛应用,包括:接骨螺钉、起搏器、植入装置、医疗工具和仪器、手术器械、手术刀片、导引线、标志带、一次性用品、内窥镜器具、牙科工具、条形码、二维码、长久标记。

常见、有代表性的激光应用之激光打孔:微流体传感器、电泳膜片钳、薄膜传感器和传感器一次性用品;航空航天、汽车制造、电子仪表、化工等行业。人造金刚石和天然金刚石拉丝模的生产及钟表和仪表的宝石轴承、飞机叶片、多层印刷线路板等行业的生产中应用较多。 大功率半导体激光器;HSL-4000激光磨片

掩模版激光都有哪些种类?

普通版:一般使用苏打玻璃或者石英,常见2寸到10寸,线宽一般在1um以上,主要用户接触式曝光机,转移图形与版图尺寸为1:1,实现同比例的图形转移。

Stepper版:一般使用石英版,常见为5寸和6寸版,线宽一般在500nm以上,主要用于Stepper曝光机台,转移图形与版图尺寸实际比例一般是4:1或者5:1,实现将版图图形缩小4~5倍之后投射于目的片上。

纳米压印版:一般用石英版,刻蚀其表面的金属形成沟槽和透光不透光的组合,尺寸一般需要5寸及以上,采用电子束直写的技术实现表面nm图形的转移,一般线宽在200~800nm左右,借助掩模版对光刻胶的压力、同时辅助紫外曝光,实现纳米级图形的转移。

金属掩模版:一把采用不锈钢,在不锈钢表面通过激光加工的方式,实现表面镂空的图形设计,线宽一般要20um,能够用于电子束蒸发、磁控溅射中,用于电极图形的转移。 安徽New Wave激光应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。

为什么没有一种激光器能做全部或几种工艺?

每一种工艺类型都要求不同的激光波长、能量分布、以及外光路设计。激光聚焦点能量密度那么大,怎么能控制不烧坏,以及热效应?激光是高度可控的。塑封层的汽化临界温度,离邦定线的熔化温度差距很大,使用CLC公司第四代APEX激光控制板卡,容易控制适合的激光能量密度范围,既保证塑封层汽化,又不损伤邦定线。ECO-BLUE光化学工艺过程,起主导作用并非高速扫描的激光,而是光化学溶剂。激光剖面的热效应控制,主要是超快激光器高频脉冲,使光子能量在时间维度上聚集,超高峰值功率瞬间汽化剖面线,使得热效应区微小至可忽略。

激光光掩膜主要分两个组成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分为铬版(苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约 0.1um 的铬层。铬的硬度比玻璃略小,不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,后者可应用于芯片制造。激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


超快激光可用于微加工多种材料;HSL-4000激光磨片

激光开盖,主要针对陶瓷、可伐、铝合金等金属封装。HSL-4000激光磨片

大功率半导体激光器封装技术中,主要有三个趋势

(1)无铟化铟焊料是常用的焊料之一。由于铟焊料在高电流下易产生电迁移和电热迁移的问题,影响半导体激光器的稳定性。通常采用金锡焊料封装取代铟焊料封装。

(2)高散热:针对热管理尽管已提出了多种散热方式,例如金刚石传导散热和微通道散热技术,如何提高散热效率仍然是阻碍阵列半导体激光器高功率输出的主要因素。热应力通常是由于阵列激光器和衬底的热膨胀系数(CTE)失配所导致。热应力不仅限制了用于封装的衬底材料/热沉的选择,而且影响半导体激光bar的可靠性、光谱宽度和光束的“smile”效应(各发射腔的近场非线性效应)。为了减小热应力,目前通过采用高的热传导率和热膨胀系数更加匹配的衬底/热沉材料(无氧铜、纯银、金刚石、硅)。

(3)“无空洞”贴片技术:对于单阵列半导体激光器,由于阵列半导体激光器各个发光单元产生的热量相互干扰和整体散热不均匀,导致器件性能稳定性降低和限制功率上升;如果贴片层中存在空洞将明显的影响阵列半导体激光的性能,包括输出功率和可靠性等。现已有两种降低贴片层中的空洞的方法:一种是在合理的控制环境温度和压力情况下使用贴片技术;另一种方法是真空回流技术。 HSL-4000激光磨片

上海波铭科学仪器有限公司在拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器一直在同行业中处于较强地位,无论是产品还是服务,其高水平的能力始终贯穿于其中。公司位于望园南路1288弄80号1904、1909室,成立于2013-06-03,迄今已经成长为仪器仪表行业内同类型企业的佼佼者。公司承担并建设完成仪器仪表多项重点项目,取得了明显的社会和经济效益。多年来,已经为我国仪器仪表行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。

标签: 探针台