当与油回转真空泵或干泵等粗抽泵组合时,在粗抽泵排气速度下降的压力范围内,使用罗茨泵可以使排气速度***上升。罗茨泵的外观,如图所示。壳体中的两个8字型转子装在轴端部的驱动齿轮上并向相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被限制在壳体和转子之间的空间中,通过转子的旋转排出到排气口侧,并通过后段的辅助泵排放到大气中。转子间,以及转子和壳体间不会接触,保持微小的间隙(0.1至0.3mm)旋转,对气体进行压缩和输送。转子室中不需要润滑油,因此可以实现具有较少油蒸气污染的真空排气。转子可以高速旋转,因此不必担心与壳体摩擦的风险。此类泵可以作为大气压下排气的其他类型泵的辅助泵使用,用于高真空侧。特点是可以在极限压力0.5~5Pa宽范围内发挥稳定的性能。罗茨泵在气体循环系统中,提供了高效的气体输送和回收能力。镇江罗茨泵(罗茨真空泵)销售电话
工作原理启动系统,主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动。由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产的要求。罗茨泵机组(罗茨泵+前级真空泵)真空泵机组按用泵类型分为“油泵系统”,“干泵系统”。按用泵数量分为“单级型”,“双级型”。真空机组一般由真空泵、控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。镇江罗茨泵(罗茨真空泵)销售电话罗茨泵在真空镀膜过程中,确保了镀膜的均匀性和质量。
真空原理:TRP系列罗茨真空泵是利用两个8字形转子相互垂直安装在一对平行轴上,由传动比为1:1的一对齿轮坐反向同步旋转,在转子之间、转子与泵腔之间保持一定的间隙,进行高速运转,从而完成吸气和排气的过程,达到抽出系统内气体的目的。泵腔内转子处于位置1和2时,进气口侧内体积增加。当转子进一步旋转到位置3时,一部分容积从进气口侧被分离出来。在位置4时,这个容积开放到排气口测流入。当转子进一步转动时,气体通过排气口排出。转子每转动一圈完成两次以上的过程。
罗茨泵进气口和排气口之间的压差是受到限制的。TRP系列罗茨泵在进排气口间设置了一旁通阀(2),当今气口的压差达到一定值时,旁通阀就自动打开,排气口处的部分气体通过旁通阀和反流通道(1)反流到进气口,这就降低了高压差下罗茨泵和前级泵的运行负荷。同时,因为打开的旁通阀具有泄流作用,可确保TRP系列真空泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载。由于罗茨泵不能单独工作,必须与前级泵(如旋片泵、滑阀泵、水环泵等)组成罗茨泵机组使用,若欲获得更高的真空度,可采用两台罗茨泵串联组成三级罗茨泵机组。罗茨泵在真空镀膜机的预抽阶段,提高了镀膜效率。
在罗茨泵的出口管道设置**的气体冷却器,这时许可的最大压差可以增加,因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。在真空和高真空范围内,抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小,则压缩比降低,故抽速比多选择5:1。1)当罗茨泵在较高压力下启动时,压力下降速度很快,达到了要求的压力,启动时虽然超过了比较大许可压力差,但短时间超负荷(几分钟内)一般罗茨泵的马达不会发生问题。对入口压力非常低或前级泵气镇阀工作时,通常使用双级前级泵,否则罗茨泵所需的前级压力很难达到,而且,在这种压力下前级泵的抽速变得太低了。将导致压缩比太高,容积效率降低了。2)泵入口压力处在粗真空范围内时,这是比较大许可压力差变成了重要因素。罗茨泵与前级泵的抽速比,对入口压力为15hPa时时6:1,对入口压力为75hPa时是2:1.在粗真空范围内,罗茨泵和前级泵抽速比,对每种情况要分别去确定,一般来说,是比较小的。而容积效率相当好。罗茨泵在真空清洗过程中,确保了产品的清洁度和质量。连云港罗茨泵(罗茨真空泵)诚信合作
在高真空度要求下,罗茨泵展现出了无可比拟的稳定性和可靠性。镇江罗茨泵(罗茨真空泵)销售电话
罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵腔内有两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触,转子与泵腔壁也无接触,其间通常有0.15~1.0mm的间隙,泵腔靠间隙来密封。由于罗茨泵泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般为1500~3000r/min,而且不必用润滑油,可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位***于轴承和齿轮,以及动密封处。泵没有往复运动部件,故可实现良好的动平衡。因而,罗茨泵运转平稳,转速高,尺寸小可获得大的抽速。目前国内外的罗茨泵,多数为卧式结构,泵的进气口在上,排气口在下,这种卧式结构重心低,高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。泵的传动多为直联式的,大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮,多设在转子轴的两侧,安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大,轴要有足够的强度和刚度,轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键,主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封,泵腔与各端盖设有静密封。镇江罗茨泵(罗茨真空泵)销售电话