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非接触式光谱共焦测厚度

来源: 发布时间:2024年06月28日

光谱共焦传感器使用复色光作为光源,可以达到微米级精度,并具备对漫反射或镜反射被测物体的测量功能。此外,光谱共焦位移传感器还可以实现对透明物体的单向厚度测量,其光源和接收光镜为同轴结构,避免光路遮挡,适用于直径4.5mm及以上的孔和凹槽的内部结构测量。在测量透明物体的位移时,由于被测物体的上下两个表面都会反射,而传感器接收到的位移信号是通过其上表面计算出来的,从而可能引起一定误差 。本文通过对平行平板位移测量的误差分析,探讨了这一误差的来源和影响因素。光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、医学、纳米技术等多个领域;非接触式光谱共焦测厚度

非接触式光谱共焦测厚度,光谱共焦

光谱共焦技术是一种高精度、非接触的光学测量技术,将轴向距离与波长的对应关系建立了一套编码规则。作为一种亚微米级、迅速精确测量的传感器,基于光谱共焦技术的传感器已广应用于表面微观形状 、厚度测量、位移测量、在线监控和过程管控等工业测量领域。随着光谱共焦传感技术的不断发展,它在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量测量和其他领域的应用将会更加广。光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,无需轴向扫描,可以直接利用波长对应轴向距离信息,大幅提高测量速度。有哪些光谱共焦原理光谱共焦技术的研究集中在光学系统的设计和优化,以及数据处理和成像算法的研究。

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在容器玻璃的生产过程中,瓶子的圆度和壁厚是重要的质量特征。因此,必须检查这些参数。任何有缺陷的容器都会立即被拒绝并返回到玻璃熔体中。高处理速度与防止损坏瓶子的需要相结合,需要快速的非接触式测量程序。而光谱共焦传感器适合这项测量任务。该系统在两个点上同步测量。数据通过 EtherCAT 接口实时输出,厚度校准功能允许在传感器的整个测量范围内进行精确的厚度测量。无论玻璃颜色如何 ,自动曝光控制都可以实现稳定的测量。

随着工业快速的发展 ,对精密测量技术的要求越来越高,位移测量技术作为几何量精密测量的基础,不仅需要超高测量精度,而且需要对环境和材料的大量适应性,并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比,光谱共焦位移传感器具有高速度,高精度,高适应性等明显优势。本文通过对光谱共焦传感器应用场景的分析,有助于广大读者进一步加深对光谱共焦传感器技术的理解。得益于纳米级精度及超好的角度特性,光谱共焦位移传感器可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪,光谱共焦位移传感器以更高的速度采集粗糙度轮廓,并且对产品表面无任何损伤。光谱共焦位移传感器可以实时监测材料的变化情况,对于研究材料的力学性能具有重要意义。

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随着机械加工水平的不断发展,各种的微小的复杂工件都需要进行精密尺寸测量与轮廓测量,例如:小工件内壁沟槽尺寸、小圆倒角等的测量,对于某些精密光学元件可以进行非接触的轮廓形貌测量,避免在接触测量时划伤光学表面,解决了传统传感器很难解决的测量难题。一些精密光学元件也需要进行非接触的轮廓形貌测量,以避免接触测量时划伤光学表面。这些用传统传感器难以解决的测量难题,均可用光谱共焦传感器搭建测量系统以解决 。通过自行塔建的二维纳米测量定位装置,选用光谱其焦传感器作为测头,实现测量超精密零件的二维尺寸,滚针对涡轮盘轮廓度检测的问题,利用光谱共焦式位移传感器使得涡轮盘轮廓度在线检测系统的设计能够得以实现。与此同时,在进行几何量的整体测量过程中,还需要采取多种不同的方式对其结构体系进行优化。从而让几何尺寸的测量更为准确。光谱共焦透镜组设计和性能优化是光谱共焦技术研究的重要内容之一;有哪些光谱共焦原理

激光位移传感器在微位移测量领域具有广泛应用。非接触式光谱共焦测厚度

光谱共焦传感器结合了高精度和高速度的现代技术,在工业 4.0 的高要求下,这些多功能距离和位移传感器非常适合使用。在工业 4.0 的世界中,传感器必须进行高速测量并提供高精度结果,以确保可靠的质量保证。由于光学测量技术是非接触式的,它们在生产和检测过程中变得越来越重要,可以单独应用于目标材料分开和表面特性。这是在“实时”生产过程中的一个主要优势,尤其是当目标位于难以接近的区域时,触觉测量技术正在发挥其极限。共焦色差测量技术提供突破性的技术,高精度和高速度,并且可以用于距离测量、透明材料的多层厚度测量、强度评估以及钻孔和凹槽内的测量。测量过程是无磨损的、非接触式的,并且实际上与表面特性无关。由于测量光斑尺寸很小,即使是非常小的物体也能被检测到。因此,共焦色度测量技术适用于在线质量控制 。非接触式光谱共焦测厚度

标签: 光谱共焦