以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为***,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,如今,常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。陶瓷靶材适用于高温和腐蚀性环境。新疆光伏行业靶材
钨(元素符号W),银白色重金属,过渡金属的一员。在元素周期表中位于第6族,原子序数为74。钨的*****特性是它拥有所有金属中比较高的熔点,高达3422°C,同时也具有很高的沸点(约5555°C)。这种独特的高温性能使钨成为许多高温应用场合的理想材料。钨的密度接近于金,约为19.25g/cm³,仅次于铀和金。它具有非常好的强度和硬度,即使在极高温度下也能保持这些性质,这在金属中是非常罕见的。此外,钨还具有良好的耐腐蚀性,不会在空气中氧化,即使在高温下也能抵抗大多数酸和碱的腐蚀。钨的用途非常***。在工业中,钨主要用于硬质合金的生产,这种合金在切削工具、钻头、模具等方面有着重要应用。此外,由于其高密度和良好的机械性能,钨也常用于***领域,例如作为穿甲弹的材料。在科学研究和医疗设备中,钨因其优异的高温性能被***用作靶材,尤其是在X射线管中。作为靶材,钨主要用于产生X射线或作为电子束技术的焦点。靶材是放射源装置中的关键组件,它们的作用是被高速电子撞击,从而产生X射线。钨靶材因其高熔点、高密度和良好的导热性能,能够在受到强烈电子束轰击时保持稳定,不容易熔化或损坏,这使得它成为医疗影像和材料分析等领域的优先材料。河北智能玻璃靶材厂家背板通过焊接工艺和靶坯连接,起到固定靶坯的作用。
其常见的靶材及其应用:如碲化铟(IndiumSelenide,InSe)靶材:碲化铟是一种半导体材料,具有优异的光电性能和可调谐的能带结构。它被广泛应用于太阳能电池、光电二极管、光伏探测器、红外光电探测器等器件的制备中。如碲化镉(CadmiumSelenide,CdSe)靶材:碲化镉是一种半导体材料,具有高效的光电转换效率和优异的光学性能。它被广泛应用于太阳能电池、光电传感器、蓝光发光二极管等器件的制备中。如氧化铟锡(IndiumTinOxide,ITO)靶材:氧化铟锡是一种具有透明导电性的材料,被广泛应用于太阳能电池、液晶显示器、触摸屏等器件的制备中。如铜铟镓硒(CopperIndiumGalliumSelenide,CIGS)靶材:铜铟镓硒是一种多元化合物材料,是制备高效太阳能电池的重要材料之一。它具有高吸收系数、较高的转化效率和稳定性,是一种具有潜力的太阳能电池材料。
⑴溅射法 - 直流溅射:用于非绝缘的材料如镍,通过直流电源在靶材和基板之间形成电压差,驱动镍原子从靶材表面溅射到基板上。 - 射频溅射:适用于绝缘或高阻材料。射频溅射通过在靶材和基板之间形成射频电场,激发气体产生等离子体,从而促使镍原子沉积。⑵电子束蒸发法 - 在真空环境中,使用高能电子束打击镍靶材,使其表面的镍原子获得能量蒸发,并在基板上凝聚形成薄膜。⑶化学气相沉积(CVD) - 利用化学反应在高温下在基板表面沉积镍。这种方法需要镍的易挥发化合物作为反应物,通过精确控制反应条件,可以获得高纯度、均匀的镍薄膜。⑷热压法 - 将镍粉末在高温和高压的环境下压缩成型,通常用于生产高纯度、高密度的镍靶材。这种方法可以控制镍靶材的微观结构,提高其物理性能。⑸电解法 - 这是一种通过电解过程直接从镍盐溶液中沉积镍到基板上的方法。这种技术可以在低成本下制备大面积的镍靶材。⑹磁控溅射 - 通过加入磁场控制溅射粒子的轨迹,提高了镍靶材的沉积效率和膜层的均匀性。以上这些制备工艺各有优缺点,适用于不同的应用场景。了解这些制备方法有助于读者根据自己的需求选择合适的镍靶材及其制备工艺。对靶材进行表面处理可以提高其性能,例如提高耐腐蚀性或改变表面的电学特性。
镀膜的主要工艺有物***相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。(1)PVD技术是目前主流镀膜方法,其中的溅射工艺在半导体、显示面板应用***。PVD技术分为真空蒸镀法、溅镀法和离子镀法。三种方法各有优劣势:真空蒸镀法对于基板材质没有限制;溅镀法薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜好;离子镀法的绕镀能力强,清洗过程简化,但在高功率下影响镀膜质量。不同方法的选择主要取决于产品用途与应用场景。(2)CVD技术主要通过化学反应生成薄膜。在高温下把含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质引入反应室,在衬底表面上进行化学反应生成薄膜。材料的纯度、结构和化学组成直接影响最终产品的性能。中国香港氧化物靶材咨询报价
此过程包括粉碎、混合、压制成形和烧结,以形成均匀和紧密的靶材。新疆光伏行业靶材
FPD和导电玻璃的尺寸都相当火,导电玻璃的宽度甚至可以达到3133mm,为了提高靶材的利用率,开发了不同形状的ITO靶材,如圆柱形等。2000年,国家发展计划委员会、科学技术部在《当前优先发展的信息产业重点领域指南》中,ITO大型靶材也列入其中。在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,寿命长,可反复无接触擦写的特点。如今开发出来的磁光盘,具有TbFeCo/Ta和TbFeCo/Al的层复合膜结构,TbFeCo/AI结构的Kerr旋转角达到58,而TbFeCofFa则可以接近0.8。经过研究发现,低磁导率的靶材高交流局部放电电压l抗电强度。新疆光伏行业靶材