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特种气体管道设计服务

来源: 发布时间:2024年05月15日

日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次:1.超高纯气体,气体中杂质总含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体,气体中杂质总含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体,气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定,都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。设计中应考虑防火、防爆措施,尤其是对于易燃、易爆气体。特种气体管道设计服务

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物料的性质:1、爆裂性,粉尘的爆裂性可以用它的爆裂危险级别来表示,如表3.7.0-1所示。表3.7.0-2列出了一些粉尘在空气中的爆裂危险指数。针对易爆的粉尘物料,设计时要注意消除静电,采用防爆型的电器设备,有时要用惰性气体作输送介质。2、静止角,在设计气力输送系统时,静止角是重要的因素,其数值定义为物料通过小孔连续地下落到水平面上时,堆积成的锥体母线与水平面的夹角。对同一种物料,粒径越小,则静止角越大。3、磨琢性,与其他物性相比,物料的磨琢性对气力输送系统影响更大。物料对设备的磨琢性可用莫氏硬度来表示,对各种被输送的物料,可按其莫氏硬度值分成4类磨琢性不同的物料,见表3.9.0,莫氏硬度大于7的物料一般不宜采用气力输送,因为这些物料对设备部件的金属材料磨琢过于剧烈,使管道、设备的使用寿命缩短,当需要气力输送磨琢性强的物料时,要在选型和选材上注意采用相应的措施。上海定制气体管道设计哪家好系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验,对整个系统进行检测。

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输送的起点和终点状况,输送的起点情况将决定气力输送的供料方式,起点处的物料可能有两种情况:一种是处于静止状况,如料斗、仓库或车船内的物料,另一种是处于运动状态,如由其他输送线或加工设备中卸出的物料。起点处于静态的物料必须依靠气流的作用力起动加速,而本来已具有一定运动速度的物料则可能减少起点压损和所需的功率。如果气力输送系统用来接运由其他输送机械或加工设备送来的物料,在设计时必须使气输送的输送量留有足够的安全系数,当前面设备的输送量发生波动而瞬时增大时不致于发生堵塞。如果前面的设备是间歇工作的,则要在气力输送系统的前部设置缓冲料斗。气力输送终点的状况关系到输送管道的布置,卸料点可能是一个,也可能有好几个,必须了解所有的位置。包括它的平面布置和高度位置。

高纯气体管路设计要点:01输送系统“分等级”,对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”,为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度,在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。对于特殊气体,如高纯气体,管道内部应保持高度清洁,防止污染。

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医用气体的基本种类及用途,医用气体的基本种类为医用氧气、负压吸引、压缩空气、氮气、笑气(N2O)及二氧化碳等气体。氧气主要用于一般病人吸氧,危急病人吸氧(呼吸机)及用于药物的雾化等;负压吸引主要吸痰、脓及血液之用;压缩空气用于口腔设备及作为呼吸机动力(混合气体用);氮气作为手术气动工具的动力;笑气(N2O)用作为手术时的麻醉气体。二氧化碳气用于腹腔充气及试验室培养细菌。通过医疗气体中心管道系统工程的公道设计,使医院能以较低的投资获得一个功效强大的供气系统,确保医院的医疗系统高效运行。阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。上海定制气体管道设计哪家好

采样仪器及“采样口”,为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器。特种气体管道设计服务

所有减压器都需要连接一条通出气体存西藏的排气管路。易燃、氧化气体排气管路不能并在一起。所有设计和施工必须符合相关的规范和要求,如:《科学实验室建筑设计规范》–JGJ 91-93;《氢气使用安全技术规程》-GB 4962-1985;《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》-GB50236-1998。(上海图勃气体工程有限公司)所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管(BA级)组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。特种气体管道设计服务

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