江苏高纯气体管道设计解决方案

引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。江苏高纯气体管道设计解决方案

高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。浙江铝合金气体管道设计规范对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。

高纯气体管路设计要点：01设备分布情况，根据用气设备的分布情况吗，高纯气体的管网大小长短应适宜，不宜过大或过长；宜采用不封闭的环形管路，在末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。02减少管路“死区”，管路中不应设有盲管，减少不流动气体的“死区”，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

气体管道敷设要求：1、输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。2、氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。3、氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。4、室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。5、气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。 减少管路“死区”，管路中不应设有盲管，减少不流动气体的“死区”。

气体管道设计规范：1、按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。2、穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。3、氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。4、氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。浙江铝合金气体管道设计规范

氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它管道上。江苏高纯气体管道设计解决方案

气体管道、阀门和附件要求：1、气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2、气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳胶管。3、阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。4、阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。江苏高纯气体管道设计解决方案