干涉测量法[9-10]是基于光的干涉原理实现对薄膜厚度测量的光学方法 ，是一种高精度的测量技术。采用光学干涉原理的测量系统一般具有结构简单，成本低廉，稳定性好，抗干扰能力强，使用范围广等优点。对于大多...

激光位移传感器可以帮助制造商在生产过程中及时发现和解决问题，提高生产效率和质量。例如，在半导体制造中，激光位移传感器可以用于检测芯片的厚度和变形，确保芯片的质量和性能。在制药行业中，激光位移传感器可以...

光谱拟合法易于测量具有应用领域 ，由于使用了迭代算法，因此该方法的优缺点在很大程度上取决于所选择的算法。随着各种全局优化算法的引入，遗传算法和模拟退火算法等新算法被用于薄膜参数的测量。其缺点是不够实用...

激光位移传感器是一种应用的非接触式测量设备，其主要用于非标检测设备中。国内所使用的激光测量仪器几乎完全依赖于国外进口。该传感器具有同步功能，可用于差动测厚、测长等 ，特别适用于工业自动化生产。激光位移...

通过安装在键合头上的激光位移传感器 360测量贴装台元401上基板贴装位相对于XY平面的倾角，同时用安装其上的精测相机402检测贴装台单元上基板的贴装位位置，并记录以上检测结果；键合头370从翻转模块...

本章主要介绍了基于白光反射光谱和白光垂直扫描干涉联用的靶丸壳层折射率测量方法 。该方法利用白光反射光谱测量靶丸壳层光学厚度，利用白光垂直扫描干涉技术测量光线通过靶丸壳层后的光程增量，二者联立即可求得靶...

激光位移传感器的技术发展路线始于上世纪，经过多年的研究和发展，如今已成为非接触测量领域的重要手段。其主要应用是测量被测物体的位移，具有结构小巧、测量速度快 、精度高、测量光斑小、抗干扰能力强和非接触...

本章主要介绍了基于白光反射光谱和白光垂直扫描干涉联用的靶丸壳层折射率测量方法 。该方法利用白光反射光谱测量靶丸壳层光学厚度，利用白光垂直扫描干涉技术测量光线通过靶丸壳层后的光程增量，二者联立即可求得靶...

激光位移传感器利用光学三角法原理 ，通过将激光发射光束投射到被测物体表面，利用漫反射效应接收反射光并将光信号转换为电信号输出，从而获取被测物体空间位置信息 。随着现代技术的发展 ，激光位移传感器已成为...

激光位移传感器的技术发展路线始于上世纪，经过多年的研究和发展，如今已成为非接触测量领域的重要手段。其主要应用是测量被测物体的位移，具有结构小巧、测量速度快 、精度高、测量光斑小、抗干扰能力强和非接触...

基于表面等离子体共振传感的测量方案 ，利用共振曲线的三个特征参量—共振角、半高宽和反射率小值，通过反演计算得到待测金属薄膜的厚度。该测量方案可同时得到金属薄膜的介电常数和厚度，操作方法简单。我们利用K...

光谱共焦位移传感器是一种可用于测量工件形貌的高精度传感器 。它利用光学原理和共焦技术，对工件表面形貌进行非接触式测量，具有测量速度快、精度高、适用范围广d的优点。本文将介绍光谱共焦位移传感器测量工件形...