激光位移传感器是一种常用的精密测量工具，在微位移测量领域中发挥着重要作用。该传感器利用激光光束的特性，通过测量光束的位移来获取被测物体的位移信息。激光位移传感器具有高精度、高灵敏度和非接触式测量的特点...

微纳制造技术的发展推动着检测技术向微纳领域进军 ，微结构和薄膜结构作为微纳器件中的重要组成部分，在半导体、航天航空、医学、现代制造等领域得到了广泛的应用，由于其微小和精细的特征，传统检测方法不能满足要...

论文所研究的锗膜厚度约300nm ，导致其白光干涉输出光谱只有一个干涉峰，此时常规基于相邻干涉峰间距解调的方案（如峰峰值法等）将不再适用。为此，我们提出了一种基于单峰值波长移动的白光干涉测量方案，并设...

基于表面等离子体共振传感的测量方案 ，利用共振曲线的三个特征参量—共振角、半高宽和反射率小值，通过反演计算得到待测金属薄膜的厚度。该测量方案可同时得到金属薄膜的介电常数和厚度，操作方法简单。我们利用K...

激光位移传感器是一种利用光学三角法原理进行测量的仪器，其主要作用是测量被测物体的位移。激光位移传感器具有结构小巧、测量速度快、精度高、测量光斑小 、抗干扰能力强和非接触式的测量特点。近年来，随着现代光...

光谱共焦技术是一种高精度、非接触的光学测量技术，将轴向距离与波长的对应关系建立了一套编码规则。作为一种亚微米级、迅速精确测量的传感器，基于光谱共焦技术的传感器已广应用于表面微观形状 、厚度测量、位移测...

白光干涉测量技术，也被称为光学低相干干涉测量技术 ，使用的是低相干的宽谱光源，例如超辐射发光二极管、发光二极管等。同所有的光学干涉原理一样，白光干涉同样是通过观察干涉图样的变化来分析干涉光程差的变化，...

光谱共焦位移传感器是一种基于共焦原理，采用复色光作为光源的传感器，其测量精度可达到纳米级，适用于测量物体表面漫反射或反射的情况。此外，光谱共焦位移传感器还可以用于单向厚度测量透明物体。由于其具有高精度...

激光位移传感器可以帮助制造商在生产过程中及时发现和解决问题，提高生产效率和质量。例如，在半导体制造中，激光位移传感器可以用于检测芯片的厚度和变形，确保芯片的质量和性能。在制药行业中，激光位移传感器...

激光位移传感器的重复精度是指在相同条件下，位移传感器进行多次测量所得到的结果的离散程度。重复精度参数是评估位移传感器性能的重要指标，通常使用标准偏差来表示 。要测试激光位移传感器的重复精度，需要在相同...

根据对光谱共焦位移传感器原理的理解和分析，可以得出理想的镜头应具备以下性能：首先，产生较大的轴向色差，通常需要对镜头进行消色差措施，而该传感器需要利用色差进行测量，需要将其扩大化 ；其次，产生轴向色差...

随着科技的不断进步 ，手机已经成为我们日常生活中不可或缺的一部分。然而，随着手机功能的不断扩展和提升，手机零部件的质量和精度要求也越来越高。为了满足这一需求，高精度光谱共焦传感器被引入到手机零部件检测...