论文所研究的锗膜厚度约300nm ,导致其白光干涉输出光谱只有一个干涉峰,此时常规基于相邻干涉峰间距解调的方案(如峰峰值法等)将不再适用。为此,我们提出了一种基于单峰值波长移动的白光干涉测量方案,并设...
道路是交通运输的重要组成部分 ,其平整度和几何形状对行车安全、行车舒适性、车辆燃油经济性等方面都有着重要影响。为了确保道路的安全和舒适,需要对道路的平整度和几何形状进行定期检测和维护。而激光位移传感器...
光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来的技术,在测量过程中无需轴向扫描,直接由波长对应轴向距离信息,因此可以大幅提高测量速度。基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器,...
为了分析白光反射光谱的测量范围 ,开展了不同壁厚的靶丸壳层白光反射光谱测量实验。图是不同壳层厚度靶丸的白光反射光谱测量曲线,如图所示,对于壳层厚度30μm的靶丸,其白光反射光谱各谱峰非常密集、干涉级次...
激光三角法测量不仅具有大的偏置距离和大的测量范围,而且测量系统结构相对简单,维护方便,可有效应用于三维曲面的非接触精密测量中;但同时由于其测量精度与被测物体表面结构、特性及环境条件等因素有关,当激光三...
装备的精密定位和运动控制是至关重要的。为了确保武器装备的高精度和高可靠性,需要使用高精度的测量和控制系统。激光位移传感器作为一种高精度、高灵敏度的传感器,已经成为武器装备制造和维护中必不可少的工具。激...