“表面粗糙度”(surface roughness)用来表示通过机械加工或铸、锻、冲压、热轧、冷轧等方式在工件表面上形成一系列具有很小间距的微小峰以及峰谷,然而这些都是微观几何形状误差。表面粗糙度(微观几何形状误差)应与表面形状误差(宏观几何形状误差)和表面波度区分开:通常两峰之间的波距小于1mm的属于表面粗糙度,在1~10mm之间的属于表面波纹度,大于10mm的属于宏观形状误差。零件的表面粗糙度对零件的功能要求、美观程度、摩擦磨损、配合性质、耐磨性、耐腐蚀性、疲劳强度及结合密封性都有重大影响。 光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、生物医学、纳米技术等多个领域。北京光谱共焦位移传感器制造厂家
本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。该光谱共焦传感器包括:光源部,用于射出具有不同波长的多个光束;多个光学头,用于将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处,并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光:分光器,其包括:线传感器,以及光学系统,其包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅,并且向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束:以及位置计算部,用于基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点的位置镇江光谱共焦位移传感器制作厂家高精度光谱共焦位移传感器是一种基于共焦原理实现的位移测量技术。
光谱共焦位移传感器在工业制造的机械加工领域发挥着关键作用。在数控加工中心,它可以实时监测刀具的磨损情况和工件的加工尺寸,实现自适应加工,提高加工精度和效率。对于复杂形状的零部件,如涡轮叶片和曲轴,能够精确测量其几何形状和表面粗糙度,保证产品符合设计要求。此外,在磨削加工中,传感器能精确控制磨削量,避免过度磨削或磨削不足,提高零件的表面质量和使用寿命。创视智能专门设计的高空间分辨率的光谱共焦光学探头,能够带来极为出色的线性特性;同时基于可溯源激光干涉仪比对的纳米级精度自动化标定系统,能够满足传感器产品高精度、批量化的性能标定要求。
光谱共焦位移传感器是一种具有超高精度和超高稳定性的非接触式位移传感器。与激光三角法相比,光谱共焦具有更高的分辨率,并且由于光发射和接收同光路,不会出现激光三角法光路容易被遮挡或被测目标表面过于光滑而接收不到目标反射光的情况,对被测物体适应性强,适用于手机玻璃的检测,凹坑、小孔的测量以及表面形貌的扫描恢复。 光谱共焦传感器是一种基于光学色散原理的非接触式位移传感器,目的是建立距离与波长间的对应关系。传统的激光三角法测量技术已经比较成熟,运用也比较widely,但由于CCD相机接收反射光范围的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的测量。光谱共焦位移传感器由于其运用同光路的光纤,只要光能照射的区域就能够沿原路返回,可以解决传统的激光三角法测量不了的领域,对一些高反射、高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量,且测量精度能够达到亚微米级别。光谱共焦应用半导体硅片测量方案。
光谱共焦位移传感器具有诸多优势,使其在众多领域大显身手。它不受被测物体材质、颜色和表面状况的影响,能够对各种复杂表面进行精确测量。无论是高反光的金属表面,还是透明的玻璃、塑料材质,都能轻松应对。同时,该传感器具有极高的测量速度,能够在短时间内完成大量数据采集,很大的提高了工作效率。在半导体制造行业,光谱共焦位移传感器用于芯片制造过程中的关键尺寸测量和表面形貌检测。它能够精确测量光刻胶层的厚度、晶圆的平整度等参数,确保芯片的性能和质量。在汽车制造业,它可以检测发动机零部件的磨损情况、车身的装配精度,保障汽车的安全性和可靠性。光谱共焦技术在医学、材料科学、环境监测等领域有着广泛的应用;如何选光谱共焦位移传感器常见问题
光谱共焦技术能消色差像差,提升测量精度。北京光谱共焦位移传感器制造厂家
在工业制造领域,光谱共焦位移传感器为航空航天部件的生产带来了明显优势。对于飞机机翼的蒙皮,该传感器可以精确测量其厚度的变化和表面的平整度,确保机翼在飞行中的空气动力学性能。在航空发动机叶片的制造中,能够检测叶片的微观形状和表面缺陷,保障叶片的强度和耐用性。此外,在航天器关键部件的装配过程中,它能高精度地测量部件之间的相对位置和间隙,保证航天器的整体性能和可靠性。创视智能采用高灵敏度、高信噪比的元器件,在控制器中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时隔离探头光学模块和控制器内部的电子模块,减小了环境温度波动、结构振动等因素对测量精度的影响,将高精度测量能力真正传递到客户端。北京光谱共焦位移传感器制造厂家