本实用新型涉及光电精密测量领域,尤其涉及的是一种光谱共焦位移传感器。随着我国的航空航天、汽车、造船等高技术产业飞速发展,对产品和零部件外形尺寸的工艺水平及精度要求越来越高,所以,能否进行高效率、高精度的检测,将直接关系到产品的质量和使用寿命。能进行高效率、高精度测量的技术手段通常分为接触式测量(以机械式和压电式为主)与非接触式测量(光学式为主)两类。非接触式光学测量具有如下优点:无损检测:可测量柔软和易变形件、脆性和易损件,特别适合不允许接触的场景。光谱共焦技术消除了光学像差和色差的影响,提高了测量精度。好的光谱共焦位移传感器行情
当光线射到半透半反膜上时,一部分光线进行透射到下三棱镜上,一部分光线进行反射,反射到背向所述反光镜的一面,在上三棱镜背向所述反光镜的一面上进行涂黑处理从而成为哑光面,当光被半透半反光学镜反射到哑光面上时,被哑光面吸收,因此可以减少整个系统的杂散光,提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小,因此射到下三棱镜上的折射光线的偏移量小,因此可认为,多色光从下三棱镜射出时,基本不发生位置偏移,从下三棱镜上射出的光线的光轴与从入射光线的出光端射出的光轴重合。这样实现所有多色光的波长共光轴,而且不发生光轴偏移,有利于后续对多色光进行色散和聚焦。常州光谱共焦位移传感器出厂价光谱共焦位移传感器具有高精度、非接触式、抗温度、抗振动等优点。
光谱共焦位移传感器系统中的光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组,准直透镜组设置在接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。机壳设置有两层,聚焦透镜组位于所述机壳的上层,感光元件位于机壳的下层,聚焦透镜组与感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组,光线转向镜组包括有上反光镜,设置在上反光镜下方位置的下反光镜,光线转向镜组用于使从上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。
光纤连接至壳体部的后端的大致centre处所设置的连接口,使得白色光W被射出到壳体部的内部。从光纤射出的白色光穿过物镜并且从壳体部的前端处所设置的照射面向着待测物体上的测量点照射。物镜是针对光谱传感器所设计的透镜并且产生轴向色像差。具体地,物镜使入射到光学头的光会聚于光轴上的各自与波长入相对应的聚焦位置P处。因此,在本实施例中,白色光中所包括的多个可见光東由物镜会聚于与波长入相对应的相互不同的聚焦位置处。创视智传感器的测量范围受到光谱共焦显微镜成像范围的限制。
本实施例中在探头壳体的内壁上一体成型设置有镜座,反光镜粘接固定设置在所述镜座上,所述反光镜的反光面与探头壳体的轴向呈45°设置。通过镜座对反光镜形成稳定支撑,使反光镜的反光面与所述探头壳体的轴向呈45°,便于对光线进行反射,使被测物体反射的光线经半透半反光学镜后转折90°,到达反光镜,反光镜对其转折90°,使光线顺利进入接收光纤的入光端。探头壳体的末端固定设置有用于对光线进行色散聚焦的色散镜头,色散镜头包括有准直镜组和色散聚焦镜组,准直镜组固定设置在靠近多色光光源的一侧,用于多色光的准直;色散聚焦镜组设置在被测物体的一侧,用于将多色光分别色散和聚焦,使不同波长的光的焦点沿轴向分布在不同高度。从半透半反光学镜射出的光线到达色散镜头,先通过准直镜组对多色光进行准直,使出射光线变成为轴向平行光,轴向平行光到达色散聚焦镜组,从色散聚焦镜组射出的各色光由于波长的不同而聚焦在不同的高度,各焦点高度按照波长的顺序,沿轴向依次排列。它可以应用于材料的力学性能测试、微纳加工、光学元件的制造等多个领域。优势光谱共焦位移传感器价格走势
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传统的光谱仪中,还可采用光栅进行分光,与棱镜组相比,光栅分光的光能量损失较大,对于光谱共焦系统,finally照射到光谱仪的感光器件上的efficient光谱仪中,还可采用光栅进行分光,与棱镜组相比,光栅分光的光能量损失较大,对于光谱共焦系统,finally照射到光谱仪的感光器件上的有效光能信号很弱,影响测量精度和效果。光谱仪还包括有用于对反射光进行准直的准直透镜组,准直透镜组设置在接收光纤的出光端与棱镜组之间。通常光线是发散的,即开始相邻的两条光线传播后会相离越来越远,通过准直透镜组对反射光进行准直,可以让多色光平行射入棱镜组。平行光束的方向稳定性高,在接收平面上能形成稳定的中心,有利于后续对各色光进行色散。好的光谱共焦位移传感器行情