一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFT>MTFS,使得所述解析结果满足所述条件;和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件,并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离,使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10。相比于传统的接触式传感器,激光位移传感器不会对被测物体造成任何损伤或干扰,适用于对敏感物体进行测量。好的激光位移传感器技术指导
在一个实施例中,激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离,在空间频率为62.5lp/mm处,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值,MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值,曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值,曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值;曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值;曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中,在弧矢方向内,向光轴以里偏离为正,向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中,在空间频率为62.5lp/mm处,量程内被测点的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。类似地,在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下,同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。绍兴激光位移传感器厂家现货它具有高度稳定性和可靠性。
从图3所示的成像光学系统结构图可看出,在整个物面并不垂直于光轴时,经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴,与光轴存在一定的夹角β,设计的lastβ优化值取为60.4628°,此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状,此点列图表明成像光斑分布均匀,但还存在一定的剩余像差,主要为球差,光斑大小可见表2,光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm,经计算tanα/tanβ=0.6137,di/do=0.6145,此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。
本实用新型提供了一种激光位移传感器检验校准装置,包括一可伸缩导轨、一微调装置、一传感器夹持装置、一激光位移传感器以及一激光红外线接收挡板;所述微调装置和传感器夹持装置设于所述可伸缩导轨的上端;所述激光位移传感器夹持在所述传感器夹持装置上,且使所述激光位移传感器的激光发射端朝向所述微调装置;所述激光红外线接收挡板与所述微调装置固接,且使所述激光红外线接收挡板的接收面朝向所述传感器夹持装置。本实用新型的优点在于:简化检验流程、检验精度高、设备结构简单、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。它可以用于测量物体的形状和轮廓,以提供准确的几何信息。
根据物体表面的散射特性,可确定入射光与成像透镜光轴的夹角。激光入射到被测物体表面,散射光强度成椭球型分布[6]。当入射光垂直入射时,α值越小,成像透镜接收到的散射光强度越大,但角度过小对探测器分辨率要求及制作工艺上都有较高难度,综合考虑取α值为21.8°,由仪器的测量范围±10mm可得到物距为53.85mm。通常情况下,库克三元组有很好的成像效果[7],因此选择库克三元组作为成像透镜的初始结构进行优化。优化过程中以各个镜片表面的半径为变量,控制厚度在适当范围,同时将像面与光轴的夹角β设为可变,采用CODEV的横向像差与波像差相结合的方式进行优化,得到下面的结果。图3为优化后的成像光学系统为什么要使用激光位移传感器呢?好的激光位移传感器技术指导
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综上所述,激光位移传感器检验校准装置的优点在于:1、通过所述电子千分表221,使得所述激光位移传感器4的检验精度极大提高。2、通过所述电动伸缩双直线导轨11,简化了检验流程、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式,但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解,我们所描述的具体的实施例只是说明性的,而不是用于对本实用新型的范围的限定,熟悉本领域的技术人员在依照本实用新型的精神所作的等效的修饰以及变化,都应当涵盖在本实用新型的权利要求所保护的范围内。好的激光位移传感器技术指导