一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFT>MTFS,使得所述解析结果满足所述条件;和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件,并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离,使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10。它具有高度稳定性和可靠性。松江区激光位移传感器厂家供应
所述电子测量仪22包括一电子千分表221以及一千分表夹持装置222,所述电子千分表221使得所述激光位移传感器4的检验精度极大提高;所述电子千分表221夹持在所述千分表夹持装置222上,所述千分表夹持装置222一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述横向蜗杆211上,当所述横向蜗杆211进行横向位移时,所述电子千分表221可以精确的测量位移量。所述传感器夹持装置3包括一纵向螺杆31以及一夹持器32;所述夹持器32套设在所述纵向螺杆31上,所述夹持器32可在所述纵向螺杆31上调节高度,所述激光位移传感器4夹持在所述夹持器32上。南通激光位移传感器生产厂家哪家好它可以用于测量物体的形状和轮廓,以提供准确的几何信息。
在采用方式2的情况下,可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃),配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时,可以在微米量级进行调整。每次调整后,可以进行MTF解析,在判断解析结果满足上述条件时,停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件,则继续进行调整。此外,在图1所示的实施例中,反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间,从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率,减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下,反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。
在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子弧矢向的情况下,成像物镜本身的MTFS>MTFT、或者在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,成像物镜本身的MTFT>MTFS,使得解析结果满足条件;和/或在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件,并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离使得解析结果满足条件。反光元件,反光元件设置在成像物镜的出射光路上,成像物镜的出射光经反光元件反射后,入射到感光元件。这种传感器具有较高的稳定性和可靠性,能够长时间稳定地工作。
带通滤光片,设置于成像物镜的入射光路上。聚焦透镜,设置于激光器的出射光路上。可选地,上述感光元件为线阵感光元件,线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。上述也可以是感光元件为面阵感光元件,面阵感光元件包括以矩形排列的多个感光单元,面阵感光元件的长边延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。此外,上述成像物镜可以为单一镜片,且成像物镜的物侧面和像侧面皆为非球面;或者,成像物镜为多个透镜组成的透镜组。激光位移传感的工作原理是什么?泉州激光位移传感器工厂
高精度激光位移传感器的可靠性和稳定性也是其优点之一。松江区激光位移传感器厂家供应
通过将空间频率为62.5lp/mm时的MTF解析结果保持在MTFS>MTFT×10或MTFT>MTFS×10,尤其是让解析结果满足:MTFS≥0.5且MTFT<0.05、或者MTFT≥0.5且MTFS<0.05,能够让光斑在感光元件的感光单元的主要排列方向上的延伸更加明显,进一步降低成像物镜的设计难度、以及制造和维护成本;对于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物镜,通过在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃等),配合微调成像物镜与所述感光元件之间的相对距离来使得成像物镜和感光元件所组成整体的MTF值满足上述要求,能够很容易地让光斑被拉长,更加容易被感光元件所接收;松江区激光位移传感器厂家供应