根据本发明实施例的激光位移传感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二极管)1、聚焦透镜2、窗口玻璃3、带通滤光片5、成像物镜(也可称为接收物镜)6、感光元件7以及反光元件8。其中,该激光位移传感器用于对被测物体4进行测量。在图1所示的结构中,省略了激光位移传感器的外壳。实际上,上述窗口玻璃3可以设置在激光位移传感器的外壳上,供激光器所发出的光通过。激光位移传感器的工作过程如下:由激光二极管1发射的激光束通过聚焦透镜2聚焦、窗口玻璃3滤光后,照射在被测物体4的表面形成一个测量光斑,激光束可以垂直入射到被测物体4表面(即垂直入射),也可与被测物体4表面成一定的角度(即斜入射)。该测量光斑由成像物镜6成像,并在感光元件7形成测量信号。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。浙江激光位移传感器厂家供应
进一步地,所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手;所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接,另一端与所述电子测量仪抵接;所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。进一步地,所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。 进一步地,所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。
优点在于:1、通过所述电子千分表,使得所述激光位移传感器的检验精度极大提高。2、通过所述电动伸缩双直线导轨,简化了检验流程、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。 静安区激光位移传感器量大从优它可以实时监测物体的位移变化,提供准确的数据支持。
随着科学技术的迅猛发展,具有非接触、高精度、稳定性好、可自动化及易于与计算机相结合等特点的激光位移检测技术在自动检测、机器人视觉、计算机辅助设计与制造等领域得到了广泛的应用,已将逐渐取代传统的接触式检测技术,成为现代检测技术很重要的手段和方法。非接触式激光平面检测系统主要利用激光位移传感器与平台运动控制系统来检测对象物平面平整度。位移传感器用来测量目标物体的距离,按与对象物的接触类型它分为两类:主要有使用差动电压等形式的接触式与使用磁场、超声波、激光等形式的非接触式。由于非接触式激光位移传感器具有高精度表面扫描的特点,系统选择基恩士公司的LT一9001Series型激光位移传感器,该激光位移传感器可以对任何对象物进行高精密度的位移测定,例如可以对微细工件、粗面工件的高度进行测定,还可以测量电路板上的焊锡以及测定透明体的表面和厚度。平台运动控制系统选择丹纳赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二维电动平移台。云南丽江天文工作站2.4mm天文望远镜终端的拼接CCD相机为了得到更清晰的天体图像,将采用该非接触式激光平面检测系统,对拼接CCD相机平面平整度进行检测。
所述微调装置2包括一蜗轮蜗杆机构21、一电子测量仪22以及一微调平台23;所述微调平台23设于所述电动伸缩双直线导轨11上端的尾部,所述微调平台23的末端向上设有一延伸部231;所述蜗轮蜗杆机构21设于所述微调平台23的前端;所述电子测量仪22的一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构21。所述蜗轮蜗杆机构21包括一横向蜗杆211、一蜗轮(未图示)以及一位移调节把手212;所述横向蜗杆211的一端与所述激光红外线接收挡板5的背面固接,另一端与所述电子测量仪22抵接;所述位移调节把手212与所述蜗轮固接;当旋转所述位移调节把手212时通过所述蜗轮联动所述横向蜗杆211进行横向位移。激光位移传感器的使用非常方便。
进一步地,所述可伸缩导轨包括一电动伸缩双直线导轨、一No.1支撑件、一第二支撑件、一滑动轮、一伸缩制动开关以及一控制面板;所述No.1支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨固定端的底部,所述第二支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨可伸缩端的底部;所述滑动轮设于所述第二支撑件的底部;所述伸缩制动开关设于所述第二支撑件的侧面;所述控制面板与所述电动伸缩双直线导轨电连接。进一步地,所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台;所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部,所述微调平台的末端向上设有一延伸部;所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端;所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。激光位移传感器在新能源锂电行业的应用案例。长宁区激光位移传感器常用解决方案
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值得一提的是,针对成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统,拉高S方向的MTF值,降低T方向MTF值的实现方式可以包含以下两种:(方式1)成像物镜6自身的S方向MTF值高,而T方向的MTF值低;(方式2)在成像物镜6的T和S方向的MTF值接近时,在成像物镜前或后加入能够引入像散的光学元器件(例如,可以是平板玻璃等),配合微调成像物镜6与感光元件7之间的相对距离即像距,以达到S方向MTF值高,而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平yh浙江激光位移传感器厂家供应