辽宁校验光谱共焦位移传感器

当光线射到半透半反膜上时，一部分光线进行透射到下三棱镜上，一部分光线进行反射，反射到背向所述反光镜的一面，在上三棱镜背向所述反光镜的一面上进行涂黑处理从而成为哑光面，当光被半透半反光学镜反射到哑光面上时，被哑光面吸收，因此可以减少整个系统的杂散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱镜上的折射光线的偏移量小，因此可认为，多色光从下三棱镜射出时，基本不发生位置偏移，从下三棱镜上射出的光线的光轴与从入射光线的出光端射出的光轴重合。这样实现所有多色光的波长共光轴，而且不发生光轴偏移，有利于后续对多色光进行色散和聚焦。传感器需要使用的光谱共焦显微镜进行测量。辽宁校验光谱共焦位移传感器

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例only用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。本实用新型提出一种光谱共焦位移传感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于产生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光荧光系统，也可使用LED灯发光照射荧光粉产生白光，还可以是LED灯直接产生白光，光源耦合器1000产生的光能可以适当调节，同时通过反馈控制实现光源耦合器1000产生持续的、亮度恒定不变的多色光，从而使光能量和测量更加稳定；光源耦合部分设置有带通滤光片1200,让有效的多色光通过,对无效的红外光和热量进行过滤,避免进入其他部件而造成热变形，因此，对整体系统的性能有改善作用。本地光谱共焦位移传感器该传感器利用光路中的光谱信息实现对位移的测量。

如图1至图3所示,为本实用新型光谱共焦位移传感器系统,传感器系统由卤素灯光源1、Y型光纤2、光谱共焦透镜组3、共焦小孔6和光谱仪5组成,卤素灯光源1连接Y型光纤2,卤素灯光源1的光谱波段范围为360nm~2500nm,光谱仪5通过共焦小孔6连接Y型光纤2-端,型光纤2另一端连接光谱共焦透镜组3,光谱共焦透镜组3包括盒盖、盒体7、两个双凸球面镜9、套筒12和一个弯月透镜11,盒体7内设置有光路通道8、限位槽13和透光孔10,光路通道8位于限位槽13和透光孔10之间,光路通道8上从左往右依次设置有两个相互平行的一号卡槽和一个第二卡槽,两个双凸球面镜9分别限位在两个一号卡槽内,两个双凸球面镜9的凸面侧朝内对称设置,两个双凸球面镜9之间的间距为2.5~5.5mm,弯月透镜11限位在第二卡槽内,位于中间的双凸球面镜与弯月透镜之间的间距为3.5~6.0mm,Y型光纤2通过SMA905插头4与盒体7相连,套简12限位在限位槽13内,且与限位槽13相匹配,套筒12上设置有用于光纤连接的螺纹孔。

分光器包括线传感器和光学系统。光学系统包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅,并且所述光学系统向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束中的各个测量光束。 所述位置计算部基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点各自的位置。该光谱共焦传感器包括用于使用从光源部射出的光进行测量的多个光学头。从光学头各自射出的测量光由于衍射光栅而发生衍射,并且分别向线传感器的多个受光区域射出。因此,可以基于线传感器的多个受光区域的各受光位置来计算多个测量点各自的位置。结果,可以在不增加衍射光栅和线传感器的数量的情况下,利用少量的组件来执行多点测量光谱共焦位移传感器是一种先进的光学测量技术，可以实现高精度的位移测量。

传统的光谱仪中，还可采用光栅进行分光，与棱镜组相比，光栅分光的光能量损失较大，对于光谱共焦系统，finally照射到光谱仪的感光器件上的efficient光谱仪中，还可采用光栅进行分光，与棱镜组相比，光栅分光的光能量损失较大，对于光谱共焦系统，finally照射到光谱仪的感光器件上的有效光能信号很弱，影响测量精度和效果。光谱仪还包括有用于对反射光进行准直的准直透镜组，准直透镜组设置在接收光纤的出光端与棱镜组之间。通常光线是发散的，即开始相邻的两条光线传播后会相离越来越远，通过准直透镜组对反射光进行准直，可以让多色光平行射入棱镜组。平行光束的方向稳定性高，在接收平面上能形成稳定的中心，有利于后续对各色光进行色散。光谱共焦技术可以消除光学像差和色差的影响，提高测量精度。吉林好的光谱共焦位移传感器

该传感器适用于高分辨率成像系统，例如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。辽宁校验光谱共焦位移传感器

根据权利要求7所述的光谱共焦传感器,其中，所述分光器包括设置有所述多个光入射口的光入射面，以及所述多个光入射口设置在包括所述线方向和所述预定基准轴的方向的平面与所述光入射面相交的直线上。根据权利要求1至8中任一项所述的光谱共焦传感器,其中，在针对所述多个光学头中的各光学头将如下区域假定为测量对象区域的情况下,所述多个受光区域与分别对应于所述多个光学头的多个测量对象区域相对应,其中,该区域是所述线传感器的从在射出所述多个光束中的具有shortest波长的光作为所述测量光的情况下的受光位置到在射出具有longest波长的光作为所述测量光的情况下的受光位置为止的区域。辽宁校验光谱共焦位移传感器