广东激光位移传感器技术指导

在采用方式2的情况下，可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃)，配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时，可以在微米量级进行调整。每次调整后，可以进行MTF解析，在判断解析结果满足上述条件时，停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件，则继续进行调整。此外，在图1所示的实施例中，反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间，从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率，减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下，反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。它可以用于测量机械零件的位移，以确保其精确性和稳定性。广东激光位移传感器技术指导

通过所述控制面板14设置所述电动伸缩双直线导轨11伸缩至特定的距离，打开所述激光位移传感器4，使得所述激光位移传感器4的激光照射在所述激光红外线接收挡板5的接收面上，记录所述激光位移传感器4至所述激光红外线接收挡板5的距离；旋转所述位移调节把手212使得所述横向蜗杆211横向位移，记录所述电子千分表221的位移数据，记录此时所述激光位移传感器4至所述激光红外线接收挡板5的距离，通过比较所述激光位移传感器4前后两次测量的距离差与所述电子千分表221的位移数据，计算所述激光位移传感器4的误差；调节所述电动伸缩双直线导轨11的伸缩距离，重复以上测量，以减少测量误差。宝山区激光位移传感器调试高精度激光位移传感器采用激光技术，能够实现非常精确的位移测量。

激光位移传感器根据入射光角度的不同可分为直入射式和斜入射式两种[1]，本设计采用的是直入射式，其光路结构如图1所示。整套光路可以分为两部分，即整形系统和接收系统[2]。左边部分是光束整形系统，其作用是将激光器发出的光束汇聚在工作范围内，使汇聚的光斑尽量小而均匀。光源为半导体激光器(LD)，它经整形系统在测量范围50±10mm内形成均匀的光斑。后面则是光束接收系统，它将物体表面的漫反射光汇聚到光敏探测器上，使其精确成像。图中α为被测面与成像透镜光轴夹角，β为光敏探测器与光轴的夹角，do和di分别表示物距和像距。

公开号为CN 1 05138193A的中国发明专利申请公开一种用于光学触摸屏的摄像模组及其镜头，具体而言，该专利申请采用拉高成像物镜T方向的MTF值、压低S方向的调质传递函数(MTF)值，来提高光学触摸屏装置的灵敏性能。因此，该patent对于如何提高光学触摸屏的灵敏性能，提出了解决方案。但是，激光位移传感器不同于光学触摸屏，随着激光位移传感器的使用，很可能会因为振动、机械变形等原因，使得激光器发出的光斑无法正确投向传感器，进而导致无法进行准确检测、甚至完全无法进行测量的问题。而对于激光位移传感器所面临的设计难度高、易受振动和机械变形影响的问题，上述patent无能为力。[0007]针对上述问题，目前尚未提出有效的解决方案。这些传感器具有广泛的应用领域。它们可以用于测量各种材料的位移，包括金属、塑料和液体等。

从图2的镜头图可以看出，第二块透镜的半径很小，主要是为了保证系统在整个工作范围内得到相对均匀的光斑。表1给出了在工作范围内光斑的直径大小，maximum为0.4mm，在靠近透镜的一边，minimun为0.08mm，在55mm处。由于成像系统的入射光是整形部分光经过物体散射回去的，因此整形系统得到的光斑不能太小;同时为了保证精度要求，光斑也不能太大，上面的结果能够满足需求。得到好的出射光斑以后，如何接收物体表面的散射光并使其精确成像，是确保激光位移传感器精度的关键问题。在直入射式三角法测量中，物体沿激光入射方向移动，物面并不垂直于成像光轴。那么在透镜成像过程中(如图1)，由几何成像公式可证明： tanα/tanβ=d1/d',即为理想成像的Scheimpflug条件[5]。要想达到理想的成像效果，光电探测器需依此条件放置。这种传感器还可以用于测量建筑物的结构变形，以确保其安全性。上饶激光位移传感器零售价格

激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化。广东激光位移传感器技术指导

根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFT≥0.5，MTFS<0.05。4.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：反光元件，所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上，所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。5.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：带通滤光片，设置于所述成像物镜的入射光路上。6.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：聚焦透镜，设置于所述激光器的出射光路上。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器，其特征在于，所述感光元件为线阵感光元件，所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列，该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。广东激光位移传感器技术指导