松江区激光位移传感器源头直供厂家

在采用方式2的情况下，可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃)，配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时，可以在微米量级进行调整。每次调整后，可以进行MTF解析，在判断解析结果满足上述条件时，停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件，则继续进行调整。此外，在图1所示的实施例中，反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间，从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率，减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下，反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。它可以实时监测物体的位移变化，提供准确的数据支持。松江区激光位移传感器源头直供厂家

加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度检测不仅包括非球面表面形状的检测，还包括非球面中心偏差的测量。要求非球面透镜的形状误差在几厘米到几十厘米的范围内小于1μm。受现有冷加工工艺、车床运动误差、磨削力变形及检测误差的限制，加工的非球面光学元件会产生一些质量缺陷，无法保证跨尺度的产品满足高精度要求。为了使非球面透镜表面形状误差、中心偏差等参数满足设计精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差检测信息进行多误差校正和补偿加工。福州激光位移传感器以客为尊高精度激光位移传感器具有较高的精确度，能够满足精密测量的需求。

针对相关技术中的问题，本发明提出一种激光位移传感器，能够在不影响测量精度的情况下，降低成像物镜的设计难度，同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明，提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中，在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS＞MTFT×10；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT＞MTFS×10。[0015]可选地，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。

如权利要求2所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台；所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部，所述微调平台的末端向上设有一延伸部；所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端；所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。如权利要求3所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手；所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接，另一端与所述电子测量仪抵接；所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。这种传感器可以用于测量物体的表面粗糙度，以评估其质量。

根据物体表面的散射特性，可确定入射光与成像透镜光轴的夹角。激光入射到被测物体表面，散射光强度成椭球型分布[6]。当入射光垂直入射时，α值越小，成像透镜接收到的散射光强度越大，但角度过小对探测器分辨率要求及制作工艺上都有较高难度，综合考虑取α值为21.8°，由仪器的测量范围±10mm可得到物距为53.85mm。通常情况下，库克三元组有很好的成像效果[7]，因此选择库克三元组作为成像透镜的初始结构进行优化。优化过程中以各个镜片表面的半径为变量，控制厚度在适当范围，同时将像面与光轴的夹角β设为可变，采用CODEV的横向像差与波像差相结合的方式进行优化，得到下面的结果。图3为优化后的成像光学系统高精度激光位移传感器具有较高的分辨率，能够测量微小的位移变化。崇明区激光位移传感器的用途和特点

它可以用于测量物体的形状和轮廓，以提供准确的几何信息。松江区激光位移传感器源头直供厂家

在一个实施例中，激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离，在空间频率为62.5lp/mm处，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值，MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值，曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值，曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值；曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值；曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中，在弧矢方向内，向光轴以里偏离为正，向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中，在空间频率为62.5lp/mm处，量程内被测点的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。类似地，在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下，同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。松江区激光位移传感器源头直供厂家