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济南数显式气体质量流量控制器

来源: 发布时间:2024年12月09日

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美国alicat流量控制器利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体工作温度:-10°C至+60°C大内部压力(静态):145psig(160psia)耐受压力:175psig(190psia)STP/NTP:用户可选(默认为25°C&1atmSTP/0°C&1atmNTP)Alicat产品采用层流差压式原理,拥有LFE技术,凭借航天级水准,长期支持美国航天局(NASA)、SpaceX探空火箭项目,并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。产品类型:气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力计、压力控制器。客户行业:实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体电子以及相关的公共事业。应用领域:计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。济南数显式气体质量流量控制器MCS-20SLPM MCS-25SLPM MCS-50SLPM气体流量控制器MCS-100SLPM MCS-200SLPM MCS500SLPM MCS-1000SLPM MCS1500SLPM.

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ALICAT艾里卡特质量流量控制器及液体流量控制器特有的高速比例控制阀及上述流量累计功能,从而实现精密批量分配功能。用户通过分别定义设定值流量与分注流量来进行某设定流量值下的气体或液体的批量分注。键式重设更加快了循环往复批量加分配的速度。批量控制及流量累计数据亦可通过RS-232数字通讯传输。*精密批量控制于选配TOT流量累加功能的质量流量控制器及水流量控制器。集成式电位计控制(IPC)作为选配项,通过简单的旋钮调节设定值,兼容于大多数美国ALICAT艾里卡特质量流量控制器、液体流量控制器与压力控制器。OEM质量流量控制器BASIS质量流量控制器为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为OEM设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有美国ALICAT艾里卡特特有的快速阀门控制。用于OEM应用的BASIS质量流量控制器-侧面看图

ALICAT质量流量计用于过滤器性能测试美国ALICAT艾里卡特差压式单阀压力控制器用于过滤器性能测试压力控制器用于真空镀膜结合您用得顺手的真空计与美国ALICAT艾里卡特PC-EXTSEN压力控制器,可打造完美的绝压控制方案用于真空沉积。质量流量控制器控制进入腔体的反应气体流量、PC-EXTSEN压力控制器稳定整个腔体压力。美国ALICAT艾里卡特压力控制器(外部传感器)用于真空镀膜快速简易的泄漏测试采用包含远程压力传感端口的美国ALICAT艾里卡特PC3系列压力控制器高精度控制目标设备的压力,测量其流量以判断是否泄漏。该方案消除了由测量泄漏率的质量流量计本身产生的压损。美国ALICAT艾里卡特PC3远程压力控制器用于泄漏测试美国ALICAT艾里卡特数字式压力计、真空计数字式压力计、真空计P系列数字式压力计/真空计包含系列帮助用户接受成本的功能,快速响应,将压力或真空波动降至极小。D6361-FBD-CC-SK D6363-FBD-CC-SK D6360-FFD-CC-SK D6361-FFD-CC-SK D6363-FFD-CC-SK D6360-FGD-CC-SK流量计.

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SPORLAN流量控制器GP200系列GP200系列是一款完全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器,专为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺而设计。即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供准确的工艺气体输送。降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本,因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。性能特点较低的入口压力操作下游阀结构匹配的瞬态响应零泄漏控制阀本地显示指示流量、温度、压力和网络地址通过消除匹配和补偿两个**压力传感器的要求,GP200差压技术降低了测量不确定性,从而提高了精度、可重复性和漂移性能。由于GP200差压传感器专门针对低压差测量进行了优化,现在使用P-MFC可以在较低的入口压力下实现更安全的工厂操作。下游阀门结构确保精度**于下游压力,使流量能够在高达1200Torr的压力下输送。快速关闭阀解决了非生产性配方等待时间或“尾部效应”,这在上游MFC阀门设计中可见,需要额外的时间来排出其内部气体体积。快、高度可重复的上升和下降流动稳定时间可在先进的高循环沉积和蚀刻工艺中实现更严格的工艺控制美国艾博格AALBORG流量控制器DPC47流量计DPC07S-V0L6-AA3DPC17S-V0L6-AA3DPC37S-V0L6-AA3DPC47S-V0L6-AA3.济南数显式气体质量流量控制器

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美国艾里卡特ALICAT液体质量流量控制器LCS-500SCCM美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-200SCCM-D美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-100SCCM-D美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-50SCCM-D美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-20SCCM-D美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-10SCCM-D美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-5SCCM-D美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-1SCCM-D-PCA13美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-1SCCM-D-PCA12美国艾利凯特ALICAT液体质量流量控制器LC-0.5SCCM-D-PCA11美国艾利凯特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器MCW-500SLPM-D美国艾利凯特ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器MCW-250SLPM-D济南数显式气体质量流量控制器

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