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ALICAT质量流量计&质量流量控制器气体质量流量控制器MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器简单升级老化的热式流量控制器艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空**设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。美国电子数显数字流量控制器性价比
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