什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来,开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统,干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。原理:干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,让您满意,欢迎您的来电哦!北京光谱共焦传感器精度
光谱共焦位移传感器■外形尺寸测量■空气夹层测量■厚度(透明物体)测量■段差高度(非透明物体)测量■外形轮廓测量■表面型貌测量■表面粗糙度测量■表面微小划痕测量■三维测量■平面度测量优势•■高分辨率,比较高可达纳米级•■高精度,比较高可达16纳米•■同轴光测量,相比较三角反射测量,无测量盲区•■可以测量几乎所有材料的表面,不论是漫反射表面,或者是高光亮面,或者是透明物体表面•■物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响,可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•■可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度安徽线光谱共焦传感器精度马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有想法的可以来电咨询!
优势•■非接触三维表面轮廓测量•■噪音小,测量重复性好•■纳米级分辨率:Z轴分辨率比较高可达0.1nm•■测量的点云数多:一个面**多可以达到500万个点•■点间距小,XY分辨率高•■多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野•■测量速度快,可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息
激光干涉位移传感器激光干涉仪:超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动,并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外,每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作,例如高真空,超高真空,低温或辐射恶劣的环境。马波斯测量科技光谱共焦传感器获得众多用户的认可。
多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放,多个产品可同时测量,**节省测量时间,减少用工成本!低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量,图像畸变也很小,无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别,排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存,可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索,数据追溯管理简单。测量结果自动保存,可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索,数据追溯管理简单。检测报告及统计报告都可通过一键完成制作,无需数据传输及电脑输入等繁琐的过程,支持多种格式。适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。上海Marposs 传感器品牌
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什么是光谱共焦技术?光谱共焦位移传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,光谱共焦传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。传感器适用于绝大多数行业:计量或研究实验室中的高精度仪器,工业生产线上的质量控制。用于工业环境中的设计,传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)。光谱共焦成像基于2个原则:l共焦成像l光轴的彩色编码。共焦装置是一种光学装置,光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集,该光学系统在***S’’处成像。***被置于光电探测器的前面,它过滤可以到达光电探测器的光线,因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理,光学系统是彩色光学头,光电探测器是一个光谱仪。北京光谱共焦传感器精度