光谱共焦传感器

闪测仪测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头，具有较高的远心度，即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术，它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标，也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。

多年来精密测量业里流行着这么一句话：影像测量仪是传统投影仪的替代产品，影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统，闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪 非接触式测量，一体化设计，3D轮廓扫描，多功能数据处理适用于各种材料的精确测量。光谱共焦传感器

光谱共焦位移传感器原理介绍

一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。

面白光干涉传感器

白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一 光谱共焦传感器光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎新老客户来电！

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准

什么是静态噪声？

静态噪声(StaticNoise,简称SN)，位于测量范围中心、完全静态的样品测得的噪声级别的RMS。我们的参数表给出了两个SN值：一个没有时间平均值，另一个时间平均值为10。这是比较大可接受值。校准后立即测量每个传感器的SN，并在校准证书中指定。该参数决定了传感器的轴向分辨率。

什么是测量精度？测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。

校准后，此参数立即如下条件下测量：优化率，倾斜角度=0°，时间平均=测量频率/10，采样步数至少为100。对于“自适应LED”模式的传感器，此模式已启用。精度对于传感器和校准台的短期重复来说是个良好指标。表中的数值为比较大可接受值：每个传感器的准确度在校准后立即测量，并在校准证书中指示。测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，期待您的光临！

颠覆传统激光三角测距法，3D尺寸精密测量方案提供者

线激光位移传感器

高场度高性价的线激光位移器，操作简单易懂出厂时已作标定，用户开箱即用，重新定义3D视觉，让3D相机的使用和2D相机一致

非接触式晶圆厚度测量系统

非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的使用。

非接触式晶圆粗糙度测量系统

阶梯式测量还原接触测量真实结果:直线电机高精度龙门动机构:兼容抛光、未抛光透明及非透明晶圆测量 适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。辽宁2D 测量传感器精度

马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法的不要错过哦！光谱共焦传感器

测量状态指示灯包含三个LED信号灯，分别显示系统错误、光信号强度和量程预警。系统错误信号灯指示传输数据是否过载，光信号强度指示灯显示当前光强信号是否超过5%，而量程预警指示灯则显示测量样品是否在量程范围内。系统错误信号灯正常状态为关闭状态，即不显示任何颜色光。但当使用RS232或RS422接口同时传输数据时，测量频率和传输数据格式都可能影响数据传输量。当传输数据量过载时，该信号灯点亮为红色状态，此时则应该适当降低测量频率或更改数据传输格式。此外，选用USB方式传输则会较少遭遇数据过载情况。光谱共焦传感器

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