非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控,非接触测量,适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。内蒙古非接触式传感器价格
光谱共焦技术的非接触测量
Irix ™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。
Irix ™ 可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。
控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。
Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。
彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。
非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;
Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。
集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量 内蒙古非接触式传感器价格马波斯测量科技的光谱共焦传感器值得放心。
ENITH控制器采用比较高质量标准制造,是一款坚固可靠的产品,可满足车间环境(如实验室)中**苛刻的应用,是工业环境中光谱共焦控制器的全新选择。ZENITH控制器的柔性测量,可以将被测产品造成损害的可能性降低到零。基于以太网通讯,ZENITH可以在非接触的情况下实现高精度的测量,而不会对被测产品造成任何损坏。
ZENITH框架紧凑,结构稳固,专为7天24小时全天候使用而设计。2ZENITH能够在各种类型的材料和物体表面进行超高分辨率的距离和厚度测量,包括各种反射性材料。3高频率采样是 ZENITH 与编码器(**多 5 个)结合用于外部测量同步的动态应用的理想选择之一。4ZENITH的控制器可兼容所有MARPOSS STIL光学笔:CL-MG、OP、ENDO和EVEREST,实现达纳米级精度的计量表现。
STIL光学传感器为全球各个行业提供更好的质量控制,我们的产品系列适合于各种应用,为更高的质量标准提供可靠的控制和检测。1995年推出点光谱共焦传感器,2005年创新推出线光谱共焦传感器,2015出现线光谱共焦相机,通过持续创新,2025年将推出适用于工业4.0智能解决方案。在严苛的工业环境下客户要求速度、精度、质量和安全满足的同时,也要求减少对环境的影响和降低成本,这正是STIL传感器产品系列具有的优势。适用于任何材料同轴共焦原理兼容任何折射,同轴共焦原理,易于工业集成,大角度测量,符合ISO25178-602标准。光谱共焦的特点:1.共焦对环境光不敏感可过滤杂波;2.彩色光谱在测量范围内形成彩色光谱,各种景深3.光谱仪通过嵌入式光谱仪对反射或漫反射进行光谱分析,快速并精确4.同轴同轴光学设计,无阴影影响。可靠、精确、超高分辨率的尺寸测量;高速在线解决方案;适用各种材料和环境;优于传统测量方案的其他特性,如:大角度测量,亚微米级精度,测量多层厚度。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选,有需求可以来电咨询!
所有不同波长的可见光重叠在一起,形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm(蓝光)到700nm(红光)。通过透镜,不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。众所周知,自然界的日光属白光一种,白光不是纯洁的光,而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生,而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料(透镜)对于不同单色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波长愈短折射率愈**长愈长折射率愈小(这也是不同望远镜所谓的色差不同的原因),同一薄透镜对不同单色光,每一种单色光都有不同的焦距,按色光的波长由短到长,它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上(不同的单色光的波长是不同的)这样成像就产生了所谓色差透镜错误。色差透镜错误使成像产生色斑或晕环。在摄影器材中,应通过特殊处理,尽量消减色差透镜错误导致的成像问题。常用的消除方法有双胶合系统与双分离系统。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司。江西2D 测量传感器测量速度
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压力传感器:是工业实践中常用的一种传感器,广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。7.激光传感器:利用激光技术进行测量的传感器,应用于生产、医学和非电测量等。8.MEMS传感器:包含硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器,广泛应用于生产、医学和非电测量等。
红外线传感器:利用红外线的物理性质来进行测量的传感器,常用于无接触温度测量、气体成分分析和无损探伤,应用在医学、空间技术和环境工程等。 内蒙古非接触式传感器价格
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