光谱共焦位移传感器原理介绍
一束白光点光源,通过色散透镜发生光谱色散,形成不同波长的单色光,每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值(测量范围)。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦,只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到,其他波长的光被挡在小孔之外,通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。
面白光干涉传感器
白光干涉测量**于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一 用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。宁夏光谱共焦视觉检测传感器价格
光谱共焦技术的非接触测量
Irix ™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。
Irix ™ 可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。
控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。
Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。
彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。
非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;
Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。
集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量 浙江马波斯传感器应用案例马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!
颠覆传统激光三角测距法,3D尺寸精密测量方案提供者
线激光位移传感器
高场度高性价的线激光位移器,操作简单易懂出厂时已作标定,用户开箱即用,重新定义3D视觉,让3D相机的使用和2D相机一致
非接触式晶圆厚度测量系统
非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的使用。
非接触式晶圆粗糙度测量系统
阶梯式测量还原接触测量真实结果:直线电机高精度龙门动机构:兼容抛光、未抛光透明及非透明晶圆测量
Zenith 采样频率:400 Hz - 5000 Hz
主要优势稳定通过15位编码增强性能,提供测量值稳定性非接触非接触式技术适用于所以不接触被测产品的情况下进行测量。
全材料光谱共焦技术可测量各种能够反射的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体等)。
适配可更换的MARPOSSSTIL光学笔:CL-MG/OP/Endo/Everest系列同步主从模式的多传感器测量,编码器触发功能。
应用
汽车玻璃
玻璃容器
和包装行业(PCB)电子工业、3C、半导体行业(硅片)、精密仪器行业、电动车行业(电池) 适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。
生物医疗-人造膝关节
粗糙度测量符合ISO标准25178-602, 传感器适用任何反射表面
机械手表
特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射
微流体类
通过塑料或玻璃等透明层,使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点
涡轮叶片
特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射
电池 点对点厚度测量
2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量
非接触式测量,一体化设计,3D轮廓扫描,多功能数据处理适用于各种材料的精确测量;使用简单,拆装方便,扫描速度快,定位精度高重复精度±0.5~±1µm;稳定性高,抗干扰能力强
膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控制
非接触测量,适用于易变形和不透明的材料小厚度测量5µm,适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理 光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技。海南点光谱共焦传感器原理
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