福建马波斯传感器解决方案

颠覆传统激光三角测距法，3D尺寸精密测量方案提供者线激光位移传感器高场度高性价的线激光位移器，操作简单易懂出厂时已作标定，用户开箱即用，重新定义3D视觉，让3D相机的使用和2D相机一致非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的使用。非接触式晶圆粗糙度测量系统阶梯式测量还原接触测量真实结果:直线电机高精度龙门动机构:兼容抛光、未抛光透明及非透明晶圆测量马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有需求可以来电咨询！福建马波斯传感器解决方案

光谱共焦位移传感器￭外形尺寸测量￭空气夹层测量￭厚度(透明物体)测量￭段差高度(非透明物体)测量￭外形轮廓测量￭表面型貌测量￭表面粗糙度测量￭表面微小划痕测量￭三维测量￭平面度测量优势•￭高分辨率，比较高可达纳米级•￭高精度，比较高可达16纳米•￭同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区•￭可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面•￭物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•￭可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度福建马波斯传感器解决方案马波斯提供非接触式传感器（测量力小）在内的多种传感器，以及显象或测量计算机。

应用范围：光谱共聚焦传感器既可用于工业环境中，也可用于生产过程中的在线检测以及实验室环境中的高精度仪器。他们主要涵盖以下内容：l微形貌（测量样品的形状和表面特征）l尺寸控制（测试制造产品的特定尺寸是否符合规格）l质量控制(制造产品缺陷的识别和特征描述）l粗糙度测量（测量样品表面的统计特征）l摩损度（表征机械或化学侵蚀）l厚度测量光谱共焦传感器完全符合涉及3D真实表面纹理的测量和分析的ISO25178标准。此外，此标准第601章节致力于非接触式表面测量，引用CCI作为***参考技术原理

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有需求可以来电咨询！

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法可以来我司咨询！吉林马波斯传感器应用案例

马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法的不要错过哦！福建马波斯传感器解决方案

光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离厚度粗糙度形状高分辨率各种材料适用于各种行业。适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸高分辨率各种材料适用于各种行业。工业4.0100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米福建马波斯传感器解决方案