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来源: 发布时间:2024年04月10日

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    若干所述侧支撑件44固定设置在所述固定板423的端面上;所述固定板423两端均设置有至少两个固定卡块427,所述固定卡块427一般设置为矩形横截面结构,便于所述固定板423端面的朝向定位;对应的,所述调节槽内设置有固定槽426,当所述固定板423两端各自的两所述固定卡块427分别设置于对应的所述固定槽426内时,设置有所述侧支撑件44的端面对应所述竖直平板421上的所述侧支撑件44,且设置所述侧支撑件44的所述竖直平板421和所述固定板423设置在所述底支撑件43的两侧,从而实现对所述盛放部内玻璃的支撑限位。其中,如图3所示,所述侧板422上所述调节槽的一种实施方式为,所述调节槽包括若干水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的竖直槽425,所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘,所述固定槽426对应所述固定卡块427设置为u型槽,从而便于固定所述固定卡块427的摆放位置。所述水平槽424和所述竖直槽425的尺寸均对应所述固定卡块427的尺寸设置,使所述固定卡块427可在所述水平槽424和所述竖直槽425内自由移动。在本实施方式中,两所述竖直平板421中一所述竖直平板421上设置有所述侧支撑件44,同一所述水平槽424多只设置一个所述固定卡块427。

    较佳的,所述冲洗区包括冲洗区、第二冲洗区和第三冲洗区,所述第二冲洗区设置于所述冲洗区和所述第三冲洗区之间,所述冲洗区设置于所述第二冲洗区和所述转换区之间,所述第三冲洗区设置于所述第二冲洗区和所述蚀刻区之间。较佳的,所述冲洗区设置有辅助厚度测量仪。较佳的,所述第三冲洗区设置有第二辅助厚度测量仪。较佳的,所述转换区设置为可升降的折叠式结构。较佳的,所述转换区设置有装卸臂。与现有技术比较本发明的有益效果在于:1,本发明中所述玻璃减薄生产线采用喷淋减薄的方式对竖直容纳在玻璃加工治具中的玻璃进行减薄处理,可实现单次多片玻璃减薄,同时避免浸泡式减薄法中反应产物粘附在玻璃上造成不良品的问题;2,本发明中所述玻璃加工治具在减薄处理时进行往复移动使侧支撑件与玻璃之间接触点产生变化,从而避免所述侧支撑件与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋而产生的不良次品问题;3,本发明通过所述侧支撑件的固定结构,可实现所述侧支撑件的位置调节,从而使玻璃加工治具适用于不同尺寸的玻璃并可将不同尺寸的玻璃同时设置于玻璃加工治具上同时进行减薄处理。附图说明图1为所述玻璃减薄设备的结构示意图。减薄清洗剂,让您的加工过程更轻松,提高生产效率。

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    本发明提供如下技术方案:一种抛光减薄装置,包括:托盘,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圆;喷头,用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,以对所述待加工表面进行抛光;磁转子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨,对所述待加工表面进行减薄。可选地,还包括控制部件;所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连,用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作,以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地,所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层,以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地,所述研磨层为金属氧化物层,所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地,还包括:热板,设置于所述托盘底部,用于对所述托盘进行加热,以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地,所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法,包括:将待加工部件固定在托盘上,所述待加工部件包括inp基晶圆;通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,来对所述待加工表面进行抛光;通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。哪里可以买到玻璃清洗剂;安徽哪家减薄用清洗剂产品介绍

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    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图;图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图;图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图;图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图;图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想,为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置,用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄,如图1所示,包括托盘10、喷头11和磁转子12,当然,本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等,托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中,托盘10,可选为石英托盘,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110,以对待加工表面进行抛光。台州市面上哪家减薄用清洗剂商家