极紫外光刻(英语:Extremeultra-violet,也称EUV或EUVL)是一种使用极紫外(EUV)波长是下一代光刻技术,其波长为13.5纳米,预计将于2021年得到广泛应用。几乎所有的光学材料对13.5nm波长的极紫外光都有很强的吸收,因此,EUV光刻机的光学系统只有使用反光镜。我们上海微联实业的RSA905铝合金材料正是适合做反射镜的材料,很好得避免了材料吸收紫外线的问题。增大紫外线的反射率。RSP铝合金的微晶结构使其可以应用在空间观测设备上。在空间的低温环境下,铝合金反射镜与其安装的支撑结构的金属材料的膨胀系数接近。,降低其膨胀系数不匹配的影响,可以避免了光机系统材料膨胀系数不一致带来的热应力和应变。保证其光学系统参数长期稳定在一个范围值内。RSP铝合金可以用现有的车,磨,铣等工艺快速制作加工反射镜基本结构,充分发挥铝合金材料易成型的特点。同时可以用单点金刚石车削工艺加工反射镜镜面。可以直接获得满足光学系统成像质量高的光滑表面。RSP铝合金的抗疲劳性好,在航空航天材料应用中有良好的性价比。荷兰铝,荷兰铝,荷兰铝。半导体微晶铝合金技术指导
RSP铝合金密度小,强度高,韧性高,高的导热率和高导电率,高耐磨性,耐腐蚀性好,加工方便,精加工性能好。在航空航天,机械制造,工业半导体等有有大量应用。RSA-905适合精抛光加工,具有表面平整度好,成型后稳定性能高,热膨胀系数低,高的导热率,无需表面渡层。可以应用于反射镜和光学透镜模具。RSA-443热稳定性和机械性能高,具有优越的可加工性,比刚度高,导热系数高,热膨胀系数低,成型后稳定性高。可以应用于高精密工业半导体部件。合格型材微晶铝合金分类微晶铝合金可做加热器和加热盘。
RSP铝合金在航空航天设备中的广泛应用。其特点是RSP铝合金可通过加工获得要求的反射面精度,并且在使用中保持其精度。光学系统中,要求反射镜的反射面高度平滑。RSP铝合金因为其工艺特点本身具有高平整度,表面晶粒均匀,且有良好的加工性和抛光度能很好满足高度平滑要求。在空间环境中,温度环境的变化会破坏反射镜镜体的温度场的平衡。对反射镜面型会造成不利影响。RSP铝合金的热膨胀系数低,镜面稳定性好,导热系数大,导热快,有利于减小镜体内部温度梯度,快速平衡温度,减小热应力产生的形变
上海微联实业的微晶铝合金材料的应用。RSA-905微晶结构,适合精密抛光加工,应用反射镜和光学透镜模具。特点:1,表面平整度好小于1nm2,不需要在表面镀层3,成型后稳定性高4,热膨胀系数低5,高导热率6,轻量化解决方案。RSA-443热稳定性和机械性能高,可以应用于高精密工业半导体部件。特点:1,优越的可加工性2,比刚度高3,成型后稳定性高4,热膨胀系数低5,高导热率6,轻量化解决方案。RSA-6061可用于获得1nm的表面粗糙度,使其成为视觉和红外光学系统的一个促成因素应用。微晶铝合金材料强度高。
RSP铝合金的微晶结构使其可以应用在空间观测设备上。在空间的低温环境下,铝合金反射镜与其安装的支撑结构的金属材料的膨胀系数接近。,降低其膨胀系数不匹配的影响,可以避免了光机系统材料膨胀系数不一致带来的热应力和应变。保证其光学系统参数长期稳定在一个范围值内。RSP铝合金可以用现有的车,磨,铣等工艺快速制作加工反射镜基本结构,充分发挥铝合金材料易成型的特点。同时可以用单点金刚石车削工艺加工反射镜镜面。可以直接获得满足光学系统成像质量高的光滑表面。RSP铝合金的抗疲劳性好,在航空航天材料应用中有良好的性价比。RSP铝合金热稳定性和机械稳定性高,可以应用在高精密工业半导体部件上。屈服强度高的微晶铝合金。容易加工微晶铝合金铸造辉煌
上海微联主营微晶铝合金。半导体微晶铝合金技术指导
金刚石车削RSA-6061铝合金工艺优化指南光学应用。RSP的熔纺铝可用于获得1nm的表面粗糙度,使其成为视觉和红外光学系统的一个促成因素应用。机器设置金刚石车削是获得1nm表面的粗糙度。则需要防止机器振动。检查总是很重要的,检查金刚石车削机床风箱,工件平衡另一个重要的因素是一个完美平衡的主轴和工件。机器制造商,拥有机上软件平衡工具。使用这些工具时,建议实现为了达到表面粗糙度值Sq<2,不平衡度小于2nmP-V金刚石工具金刚石刀具的质量对可达到的表面粗糙度至关重要。它是目前已知钻石工具在重新定位时可能会有不同的表现,我们建议使用刀尖半径为1.5mm的金刚石工具~半导体微晶铝合金技术指导
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