CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases):在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。重庆乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。工业气体批发厂家
[2]标准气体配制分类编辑在火灾自动报警器、呼吸器、传感器和火灾现场易燃、易爆、**、有害气体快速检测仪器及其它消防产品的研究、开发和生产中,经常需要配制一系列物质的标准气体,用以对产品进行检测和校准;在火灾现场易燃、易爆、**、有害气体物质快速检测中,需要一定浓度的标准气体,作为制作标准色列或浓度标尺的标准;[3]在火灾原因调查中,研究和应用一种气态物证的分析鉴定方法时,需配制一定浓度的被检测物质的标准气体,以试验不同采样仪器的采样效率或不同吸收液的吸收效率和鉴定方法的准确性、可靠性。因此,配制一定浓度的标准气体是消防产品研究、开发、生产和消防工作的一个重要环节。而标准气体的配制又不同于液体标准物质的配制,有一定的难度。因此,本文将重点介绍几种所用仪器,设备简单,易于操作,特别适用于消防产品研制、生产和消防实际工作的标准气体的配制技术。标准气体是指气体状态的标准参比物质,包括高纯度标准气体和混合标准气体,配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。工业气体厂家重庆一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
以确保安全2、气体的饱和蒸气压及其他性能要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能,考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。3、标准气体中组分之间的反应标准气体在制备之前,应考虑标准气体中各组分间是否发生化学反应(即化学稳定性问题),实际上必须搞清楚哪些气体组分不能化学匹配,否则,制备出的标准气体量值不准确,甚至可能会发生**。4、标准气体中组分与钢瓶(容器)材料的反应在制备标准气体之前,还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应(如氧化、腐蚀、吸附等)问题,以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性,选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。另外,在往气瓶中充入每一个组分之前,配气系统各管路应抽成真空,或者用待充的组分气体反复进行增压—减压来置换清洗阀门和管路,直到符合要求为止。为了避免先稳量的组分气体的损失,在往气瓶中充入第二个组分时,该组分气体的压力应远高于气瓶中的压力。为了防止组分气体的反扩散,在充完每一个组分后,在热平衡的整个期间应关闭气瓶阀门,然后进行称量。
而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。1.特种气体(Specialtygases):指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体、标准气、**气、医用气、焊接气、**气等,***用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2、标准气体(Standardgases):标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现、保存和传递量值的基本作用,在物理、化学、生物与工程测量领域中用于校.d([准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值。四川甲烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
用途非常***,但其分类尚未有统一标准。工业混合气包括自然合成和纯品配制两类。按其状态分为气态混合气和液态混合气还有气液混合气。按其所含主要危险特性组份,一般可分为可燃性混合气、自燃性混合气、剧毒性混合气和腐蚀性混合气等。新出现的新型气液混合气在应用于切割时,相比较气其他混合气来说稳定性、混合程度、安全性和使用效果都凸显了很大的优势。工业气体的常见物理特性,可归纳为:可压缩性和膨胀性。一定量的气体在温度基本保持不变时,所加的压力越大其体积就会变得越小,若继续加压,气体将会压缩成液体,这就是气体的可压缩性。工业气体通常以压缩或液化状态储存于钢瓶内。气体在光照或受热后,温度升**子间的热运动加剧,体积增大,若在一定容器内,气体受热的温度越高,其膨胀后形成的压力越大,这就是气体受热的膨胀性。压缩气体和液化气体盛装在容器内,如受高温、日晒,气体极易膨胀,产生很大的压力,当压力超过容器的耐压强度,就会造成。因此,工业气体均具有极大的危险性。工业气体应用编辑气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小,但根据不同的用途。成都一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。工业气体厂家
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以尽量减少由于线性不好而引起的不确定度,特别对线性范围比较窄的测量法,此点龙为重要。当含量不能做到充分接近时,**好在被测样品两侧各选择一个标准气体,分别测定后取平均值作为测量结果。4、不确定度标准气体一旦选择,其不确定度对被测组分的结果而言就成为系统误差。因此,从不确定度合成的角度考虎虑,不确定度越小越好,如果其数值比预期分析结果小三倍,则可忽略不计。标准气体分析方法编辑分析标准气体的方法很多,但常用的主要有:气相色谱法、化学发光法、非色散红外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。气相色谱气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等无机气体,甲烷、乙烷、丙烯、及C3以上的绝大部分有机气体的分析。通过直接法、浓缩法、反应法等样品处理技术的应用,分析的含量范围为10-9~。所以,气相色谱法也是分析标准气体中应用**多、**普遍的方法。化学发光法化学发光法是利用某些化学反应所产生的发光现象对组分进行分析的方法,具有灵敏度高,选择性好,使用简单方便、快速等特点。因些,适用于硫化物、氮氧化物、氨等标准气体的分析。工业气体批发厂家
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