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超薄型油缸强力超薄型夹盘现价

来源: 发布时间:2022年07月17日

    如果材料表面过于粗糙,大于8μm,那么密封效果会变差。因此,为了达到良好的密封效果,材料表面粗糙度**好小于5μm。密封件111的内壁1114相对于水平面倾斜有一定角度α,α小于90°。当基板113需要被浸入电解液中电镀时,该基板保持装置100承载基板113,然后基板保持装置100从装载或卸载位置移动到工艺位置。基板113完全浸没在电解液中。在电镀过程中,基板保持装置100旋转,转速为3-200rpm。在基板113浸入电解液的过程中,空气可以顺着密封件111的内壁1114排出。另一方面,在电镀过程中,基板113正面会产生氢气,气泡也能顺着密封件111的内壁1114排出,否则,空气或气泡会引起沉积的金属存在空洞的问题。当使用该基板保持装置100在基板113正面电镀金属层时,接触环112用来传导电流。如图11和图12所示,接触环112包括主体部1121、多个***指形部1122和多个第二指形部1123。为了安装接触环112,杯形夹盘101基部1011的下端为可拆卸的。为了更清楚地说明,在本文中,杯形夹盘101基部1011的下端被命名为底座。底座的底部设有多个***螺孔1016,接触环112的主体部1121设有多个第二螺孔1124。超薄型手动卡盘首先选择千岛卡盘。超薄型油缸强力超薄型夹盘现价

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    本实用新型涉及开炼机结构的技术领域,具体为一种掩模工艺夹盘。背景技术:掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具,其可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模制作单位根据客户设计的图形,将图形数据转化后,利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光,经显影、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模显影、湿法蚀刻、去胶工艺过程中,会将掩模基板放置于工艺夹盘上进行工艺制作,在工艺过程结束前,会使用去离子水冲洗掩模基板表面,并通过高速旋转去除掩模基板表面的水。在高速旋转过程中,现有的工艺夹盘*通过四个支承台、和每个支承台上对应凸起圆柱放置对应的掩模基板,在掩模基板高速旋转过程中,会将掩模基板旋出、造成掩模基板破碎、机台当机。技术实现要素:针对上述问题,本实用新型提供了一种掩模工艺夹盘,其在支承台的外周设置便于插装的挡块,使得掩模基板的四角高度方向限位,从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘,确保掩模基板的安全。一种掩模工艺夹盘,其技术方案是这样的,其包括其包括盘本体,所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的支承台。超薄型油缸强力超薄型夹盘现价

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