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高采样速率光谱共焦按需定制

来源: 发布时间:2024年10月16日

光谱共焦传感器使用复色光作为光源,可以达到微米级精度,并具备对漫反射或镜反射被测物体的测量功能。此外,光谱共焦位移传感器还可以实现对透明物体的单向厚度测量,其光源和接收光镜为同轴结构,避免光路遮挡,适用于直径4.5mm及以上的孔和凹槽的内部结构测量。在测量透明物体的位移时,由于被测物体的上下两个表面都会反射,而传感器接收到的位移信号是通过其上表面计算出来的,从而可能引起一定误差 。本文通过对平行平板位移测量的误差分析,探讨了这一误差的来源和影响因素。光谱共焦技术具有轴向按层分析功能,精度可以达到纳米级别;高采样速率光谱共焦按需定制

光谱共焦技术将轴向距离与波长建立起一套编码规则,是一种高精度、非接触的光学测量技术。基于光谱共焦技术的传感器作为一种亚微米级、快速精确测量的传感器,已经被大量应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控及过程控制等工业测量领域。展望其未来,随着光谱共焦传感技术的发展,必将在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量计量测试等领域得到更多的应用。光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来 ,其无需轴向扫描,直接由波长对应轴向距离信息,从而大幅提高测量速度。非接触式光谱共焦经销批发光谱共焦技术可以对生物和材料的微观结构进行分析。

高像素传感器的设计取决于对焦水平和图像室内空间NA的要求。同时,在光谱共焦位移传感器中,屏幕分辨率通常采用全半宽来进行精确测量。高NA可以降低半宽,提高分辨率。因此,在设计超色差摄像镜头时,需要尽可能提高NA。高图像室内空间NA可以提高传感器系统的灯源使用率 ,并允许待测表面在相对大的角度或某些方向上倾斜。但是,同时提高NA也会导致球差扩大,并增加电子光学设计的优化难度。传感器的检测范围主要取决于超色差镜片的纵向色差。因为光谱仪在各个波长的像素应该是一致的,如果纵向色差与波长之间存在离散系统,这种离散系统也会对传感器的像素或灵敏度在不同波长上造成较大的差别,从而损害传感器的特性。通过使用自然散射的玻璃或者衍射光学元件(DOE)可以形成足够强的色差。然而,制造难度和成本相对较高,且在可见光范围内透射损耗也非常高。

玻璃基板是液晶显示屏必须的部件之一,每个液晶屏需要两个玻璃基板,用作底部基板和彩色滤光片底部的支撑基板。玻璃基板的质量对面板的分辨率、透光度、厚度、净重和可见角度等参数都有很大的影响。玻璃基板是液晶显示屏中基本的构件之一,其制备过程需要获得非常平坦的表面。当前在商业上使用的玻璃基板厚度为0.7毫米和0.5毫米,未来还将向更薄的特殊groove (如0.4毫米)厚度发展。大多数TFT-LCD稳定面板需要两个玻璃基板。由于玻璃基板很薄,而厚度规格要求相当严格,通常公差稳定在0.01毫米,因此需要对夹层玻璃的厚度、膨胀和平面度进行清晰的测量。使用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以很好地解决这个问题,一次测量就可以获得多个高度值和厚度补偿。同时,可以使用多个传感器进行测量,不仅可以提高效率,还可以防止接触式测量所带来的二次损伤。光谱共焦技术的发展将有助于解决现实生产和生活中的问题。

光谱共焦传感器通过使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面上来工作。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。每个波长都有一定的偏差(特定距离)进行工厂校准。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。经过共焦孔径从目标表面反射回来的光进入光谱仪进行检测和处理。在整个传感器的测量范围内,实现了一个非常小的、恒定的光斑尺寸,通常小于10微米。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔内壁面,以及测量窄孔、小间隙和空腔 。光谱共焦技术的研究和应用将推动科学技术的进步。高性能光谱共焦应用

连续光位置测量方法可以实现光谱的位置测量。高采样速率光谱共焦按需定制

在工业领域,光谱共焦传感器的应用可以帮助企业实现更高精度的加工,提高产品的质量和生产效率。首先,高精度光谱共焦传感器可以实现对加工表面形貌的j精确测量。在精加工过程中,产品的表面形貌对产品的质量有着至关重要的影响。传统的测量方法往往需要接触式测量,不仅测量精度受限,而且容易对产品表面造成损伤。而光谱共焦传感器能够实现非接触式的高精度测量,不仅可以实现对产品表面形貌的整体测量 ,而且对产品表面不会造成任何损伤,极大地提高了测量的精度和可靠性。传统的检测方法往往需要取样送检,耗时耗力,而且无法实现对加工过程的实时监测。而光谱共焦传感器能够通过对反射光的分析,准确地获取产品表面的颜色和成分信息,实现对加工过程的实时监测和反馈,为企业提供了更加可靠的质量保证。高精度光谱共焦传感器在精加工领域的应用还可以帮助企业实现对加工工艺的优化和提升。通过对产品表面形貌、颜色以及成分等信息的完整获取,企业可以更加深入地了解产品的加工特性,发现潜在的加工问题,并针对性地进行工艺优化和改进,提高产品的加工精度和一致性,降低生产成本,提高企业的竞争力。高采样速率光谱共焦按需定制

标签: 光谱共焦

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