传统的接触式平面检测精度低、稳定性差及对对象物检测条件要求苛刻，已逐渐被现代非接触式平面检测所替代。非接触式激光平面检测系统以其高精度、高分辨率及不受对象物材质、颜色或倾斜度的影响等优点，可对任何对象物进行平面检测。介绍系统结构和激光位移传感器的工作机理，并进行平面定性检测和定量检测试验，用OpenGI。绘制及拟合三维曲面。试验结果表明，该系统平面检测结果较好地反映出对象物平面起伏情况，并且达到系统的精度要求。它可以用于测量物体的形状和轮廓，以提供准确的几何信息。江苏激光位移传感器工厂
针对目前国内自主研制的激光位移传感器精度低，测量范围小等问题，提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个激光位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上，结合具体要求设计了一个激光位移传感器的光学系统，其工作范围为（50±10）mm。采用系统分割的方法，将整个光学系统分为两部分进行设计，No.1部分是激光束的整形透镜，要求在有效的工作范围内得到小而均匀的出射光斑，设计结果表明，在测量范围内，光斑大小能够控 制在10-1mm量级；另一部分是被测面散射光接收的成像物镜，该系统的特点是物面和像面相对于光轴都有一定的角度，实验结果表明其成像满足Scheimpflug条件。 江苏激光位移传感器工厂高精度激光位移传感器的可靠性和稳定性也是其优点之一。
将纸币放置在平台上，调整感测头与纸币的距离大约在30mm左右，直至焦点对准纸币且监视器中显示可变化的读数；(2)按下人机界面中的Start按钮，平台将以设置好的速度、相邻数据点物理间隔和时间间隔进行移动，直到数据采集完为止；(3)保存步骤(2)中所采集到的数据，取下纸币，对平台进行复位；(4)重复步骤(2)操作，采集到的为平台表面离基准线间的距离，为了减小平台表面起伏对纸币表面检测的影响，将步骤(2)中采集到的数据减去步骤(4)中的数据；
本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能够利用像散，让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)变窄，而在竖直方向(即，子午方向，T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)变宽，而在竖直方向(即，子午方向，T方向)变窄)，有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置，从而提高测量的准确度；由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形，将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低，也不会影响测量精度；不仅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄，而在MTF值被降低的方向上光斑变宽，所以光斑与像元之间的接触面积增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响；此外，由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜无需兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值，所以能够降低物镜的设计难度，节省制造和维护成本；激光位移传感器在精密制造行业中的应用案例。
本实用新型涉及一种检验校准装置，特别指一种激光位移传感器检验校准装置。激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器，它由激光器、激光检测器、测量电路组成。激光位移传感器是一种新型的测量仪表，能够非接触测量被测物体的位移变化，并且测量精度高。在激光位移传感器的使用过程中，由于设备的磨损老化等原因，导致激光位移传感器的测量误差增大，此时需要将激光位移传感器进行定期的检验、校准。目前，对激光位移传感器的检验、校准，主流的做法是测量一个已知的距离(比如：1米、5米、10米等)，通过对比测量的数值与实际的数值来判断测量的精确度。但是这种方法存在有如下问题：1、检验的精度不够高；2、需要较大的场地。它可以用于测量电子元件的尺寸和形状。高精度激光位移传感器常见问题
它可以实时测量物体的位移，并提供高精度的测量结果。江苏激光位移传感器工厂
在一个实施例中，激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离，在空间频率为62.5lp/mm处，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值，MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值，曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值，曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值；曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值；曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中，在弧矢方向内，向光轴以里偏离为正，向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中，在空间频率为62.5lp/mm处，量程内被测点的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。类似地，在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下，同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。江苏激光位移传感器工厂