根据物体表面的散射特性,可确定入射光与成像透镜光轴的夹角。激光入射到被测物体表面,散射光强度成椭球型分布[6]。当入射光垂直入射时,α值越小,成像透镜接收到的散射光强度越大,但角度过小对探测器分辨率要求及制作工艺上都有较高难度,综合考虑取α值为21.8°,由仪器的测量范围±10mm可得到物距为53.85mm。通常情况下,库克三元组有很好的成像效果[7],因此选择库克三元组作为成像透镜的初始结构进行优化。优化过程中以各个镜片表面的半径为变量,控制厚度在适当范围,同时将像面与光轴的夹角β设为可变,采用CODEV的横向像差与波像差相结合的方式进行优化,得到下面的结果。图3为优化后的成像光学系统激光位移传感器在金属行业的应用案例。扬州激光位移传感器主要功能与优势
带通滤光片,设置于成像物镜的入射光路上。聚焦透镜,设置于激光器的出射光路上。可选地,上述感光元件为线阵感光元件,线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。上述也可以是感光元件为面阵感光元件,面阵感光元件包括以矩形排列的多个感光单元,面阵感光元件的长边延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。此外,上述成像物镜可以为单一镜片,且成像物镜的物侧面和像侧面皆为非球面;或者,成像物镜为多个透镜组成的透镜组。扬州激光位移传感器主要功能与优势激光位移传感器可以用于测量机械零件的尺寸和形状。
2、与传统激光位移传感器相比,本发明所涉及的激光位移传感器在光学系统中,S方向的成像质量更高,进而从理论上可提高其测量精度;3、通过增加像散使线阵感光元件上的光斑信号呈现长条状态,增大光斑信号与像元之间的接触面积,进而降低机械件变形对信噪比的影响。在以上描述的实施例中,感光元件的感光单元沿着水平方向(将弧矢方向定义为水平方向)排列,将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在子午方向上的MTF值降低,而将弧矢方向上的MTF值拉高。在其他实施例中,感光元件的感光单元沿着竖直方向(将子午方向定义为竖直方向)排列,此时,可以将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在弧矢方向上的MTF值降低,而将子午方向上的MTF值拉高。这样,同样能够达到上述类似的技术效果。以上所述only为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
在一个实施例中,激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离,在空间频率为62.5lp/mm处,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值,MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值,曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值,曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值;曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值;曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中,在弧矢方向内,向光轴以里偏离为正,向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中,在空间频率为62.5lp/mm处,量程内被测点的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。类似地,在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下,同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。它可以用于测量机械零件的位移,以确保其精确性和稳定性。
如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa它还可以用于测量材料的膨胀和收缩,以研究其热学性质。杭州激光位移传感器厂家直销价格
它可以实时测量物体的位移,并提供高精度的测量结果。扬州激光位移传感器主要功能与优势
成像物镜6和感光元件7组成的成像系统经调制传递函数进行解析后会得到解析结果MTFS和MTFT,其中MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT是子午方向上的MTF值。[0043]在一个实施例中,如果感光元件的多个感光单元为沿着S方向(弧矢方向,可以将弧矢向定义为水平方向)排列,则在光学系统设计时,可以利用成像物镜6的像散拉高S方向(弧矢方向,可以将弧矢方向定义为水平方向)的MTF值,降低T方向MTF值。通过将成像系统的MTFS和MTFT设计为满足MTFS>MTFT,能够让呈现的光斑在子午方向上被拉长,在弧矢方向上被缩短。扬州激光位移传感器主要功能与优势