绍兴光谱共焦位移传感器厂家现货

本实用新型涉及光电精密测量领域，尤其涉及的是一种光谱共焦位移传感器。随着我国的航空航天、汽车、造船等高技术产业飞速发展，对产品和零部件外形尺寸的工艺水平及精度要求越来越高，所以，能否进行高效率、高精度的检测，将直接关系到产品的质量和使用寿命。能进行高效率、高精度测量的技术手段通常分为接触式测量(以机械式和压电式为主)与非接触式测量(光学式为主)两类。非接触式光学测量具有如下优点：无损检测：可测量柔软和易变形件、脆性和易损件，特别适合不允许接触的场景。该传感器可用于微纳制造、生物医学、半导体制造等领域中的精密测量。绍兴光谱共焦位移传感器厂家现货

分光器包括线传感器和光学系统。光学系统包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅,并且所述光学系统向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束中的各个测量光束。 所述位置计算部基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点各自的位置。该光谱共焦传感器包括用于使用从光源部射出的光进行测量的多个光学头。从光学头各自射出的测量光由于衍射光栅而发生衍射,并且分别向线传感器的多个受光区域射出。因此,可以基于线传感器的多个受光区域的各受光位置来计算多个测量点各自的位置。结果,可以在不增加衍射光栅和线传感器的数量的情况下,利用少量的组件来执行多点测量上海如何光谱共焦位移传感器传感器需要使用的光谱共焦显微镜进行测量。

接收光纤，所述接收光纤的入光端固定设置在所述光谱共焦位移传感探头内，所述接收光纤的入光端用于选择性的接收所述光谱共焦位移传感探头传导的被测物体的反射光；光谱仪，所述光谱仪固定连接所述接收光纤的出光端，所述光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。2.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述光谱共焦位移传感探头包括有：探头壳体，所述探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接；半透半反光学镜，所述半透半反光学镜固定设置在所述入射光纤的出光端的正下方；反光镜，所述反光镜固定设置在所述探头壳体的内侧壁上，所述反光镜用于反射所述半透半反光学镜所发出的反射光，所述接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。

传统的探头中采用的是分光镜，分光镜有一定厚度，使光波产生了垂直光轴方向的横向偏移，而波长不同，其横向偏移不相等，导致多色光的光轴发生分离，经过色散镜头后的聚焦点上不在光轴上，其连线也不是一条直线，所以会产生较大的轴向像差和横向像差而降低MTF值，使整个系统产生较大误差，难以保证整个系统的测量精度。因此，本方案采用的半透半反光学镜2300实现所有多色光的波长共光轴，不发生光轴偏移，即发射光线和接收光线沿光轴完全对称，而且没有垂直光轴方向的偏移，可以更好的消除像差，同时其结构简单，提高机械结构的可加工性。该传感器可以与其他测量设备相结合，实现多参数的综合测量。

本实施例中的光谱共焦位移传感探头具体包括有探头壳体，探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接，探头壳体优先采用圆柱形壳体，用于对探头内的光学元件进行安装和支撑且对结构进行保护，易于想到的是，探头壳体可设置为方形，多边形或其他特定形状。在探头壳体内固定设置有半透半反光学镜，半透半反光学镜位于所述入射光纤的出光端的正下方；半透半反光学镜对通过入射光纤传导后的多色光实现一半透射而一半反射，而当透射的光线经过被测物体反射形成反射光后照射到半透半反光学镜上，半透半反光学镜对反射光进行一半透射，一半反射；光谱共焦位移传感器具有高精度、非接触式、抗温度、抗振动等优点。盐城质量光谱共焦位移传感器

该传感器适用于高分辨率成像系统，如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。绍兴光谱共焦位移传感器厂家现货

将光源耦合器与光谱共焦位移传感探头分开设置，设置在光源耦合器中的发光件实现发光，并通过导光光纤进行传导光后在探头壳体上显示，从而实现产生热量的发光件与探头壳体分离，而不影响探头壳体，从而减少发光件发光时产生的热量对光谱共焦位移传感探头精度的影响，减少测量误差，提高测量精度；通过滤光片过滤红外线，进一步减小发热量和传导的热量。将探头壳体设置成可拆卸的上壳体和下壳体两部分，产生的少量热量集中在上壳体而不对下壳体上的主要光学部件产生影响，从而减少测量误差，提高测量精度。绍兴光谱共焦位移传感器厂家现货