沧州优势光谱共焦位移传感器

根据权利要求2所述的光谱共焦传感器,其中，所述预定基准轴与在使所述测量光从所述分光器的虚拟光入射口入射至所述光学系统的情况下的光轴相对应。根据权利要求2或3所述的光谱共焦传感器,其中，所述多个光入射口被设置成从所述多个光入射口入射的所述多个测量光束各自的光轴变得与所述预定基准轴大致平行。根据权利要求2至4中任一项所述的光谱共焦传感器,其中，所述多个光入射口设置在相对于所述预定基准轴相互对称的位置处。根据权利要求3所述的光谱共焦传感器,其中，所述多个光入射口设置在相对于所述虚拟光入射口相互对称的位置处。根据权利要求2至6中任一项所述的光谱共焦传感器,其中，所述多个光入射口沿着与所述线传感器的线方向相对应的预定方向设置。它的精度可以达到纳米级别，适用于各种需要高精度位移测量的领域。沧州优势光谱共焦位移传感器

6.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述光谱仪包括有机壳，固定设置在机壳中并位于所述接收光纤出光端的轴向上且用于对反射光进行色散的棱镜组，固定设置在所述棱镜组的出光端并用于对色散后的光进行聚焦的聚焦透镜组，所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根据权利要求6所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组，所述准直透镜组设置在所述接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。标准光谱共焦位移传感器生产厂家哪家好传感器的测量范围受到光谱共焦显微镜成像范围的限制。

将光纤和光纤连接至白色LED。具体地,光纤和被布置成使得它们的端部在白色LED 的发光区域中彼此充分地接近。因此,可以从单个白色LED 向光纤和射出白色光W。应当注意,可以适当地设计发光区域的面积和光纤的芯直径等,并且还可以配置用于将白色光W向两个光纤射出的光学系统等。光纤分束器将从光纤导入的白色光W导出至与No.1光学头相连接的光纤。此外,光纤分束器34a将从光纤导入的测量光进行分支,并且将其导出至与分光器相连接的光纤。因此,使从No.1光学头射出的测量光从光纤射出到分光器的内部。

通过配置线传感器和光学系统等以使得测量对象区域变成彼此不同的区域,可以高精度地执行多点测量。多个光学头可以是2个光学头或者3个光学头。利用本技术,可以使用少量的组件来执行2个或3个点的同时测量。根据本发明的实施例的测量方法包括射出具有不同波长的多个光束。通过多个光学头中的各光学头,将所射出的多个光束会聚于不同的聚焦位置处,并且射出在聚焦位置处被测量点反射的测量光。使从多个光学头射出的多个测量光束发生衍射,并且向线传感器的不同的多个受光区域射出衍射光束。基于线传感器的多个受光区域各自的受光位置来计算作为多个光学头的测量对象的多个测量点各自的位置。根据本发明,可以利用少量的组件来执行多点测量。应当注意,不必局限于这里的效果,并且可以获得说明书中的任何效果。该传感器的测量范围受到光谱共焦显微镜的成像范围限制。

传统的光谱仪中，还可采用光栅进行分光，与棱镜组相比，光栅分光的光能量损失较大，对于光谱共焦系统，finally照射到光谱仪的感光器件上的efficient光谱仪中，还可采用光栅进行分光，与棱镜组相比，光栅分光的光能量损失较大，对于光谱共焦系统，finally照射到光谱仪的感光器件上的有效光能信号很弱，影响测量精度和效果。光谱仪还包括有用于对反射光进行准直的准直透镜组，准直透镜组设置在接收光纤的出光端与棱镜组之间。通常光线是发散的，即开始相邻的两条光线传播后会相离越来越远，通过准直透镜组对反射光进行准直，可以让多色光平行射入棱镜组。平行光束的方向稳定性高，在接收平面上能形成稳定的中心，有利于后续对各色光进行色散。光谱共焦位移传感器需要专门的光谱共焦显微镜来实现测量。广州光谱共焦位移传感器定做

该传感器可用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域的精密测量。沧州优势光谱共焦位移传感器

光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件，提示组件包括有：发光件，发光件设置在光源耦合器中；导光光纤，所述导光光纤的一端连接在光源耦合器中，且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上，所述导光光纤用于传导发光件所发出的提示光。进一步，入射光纤，接收光纤，导光光纤外表面套设有保护套，所述保护套一端固定设置在探头壳体内。采用上述方案的有益效果是：本实用新型提出的一种光谱共焦位移传感器，通过光源耦合器产生多色光源，多色光源在入射光纤中传导到光谱共焦位移传感探头内，通过光谱共焦位移传感探头内的透镜组和光学元件使多色光发生光谱色散，不同波长的单色光聚焦到不同的轴向位置，使波长与被测物体的位移产生对应关系；沧州优势光谱共焦位移传感器