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本实用新型涉及一种检验校准装置，特别指一种激光位移传感器检验校准装置。激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器，它由激光器、激光检测器、测量电路组成。激光位移传感器是一种新型的测量仪表，能够非接触测量被测物体的位移变化，并且测量精度高。在激光位移传感器的使用过程中，由于设备的磨损老化等原因，导致激光位移传感器的测量误差增大，此时需要将激光位移传感器进行定期的检验、校准。目前，对激光位移传感器的检验、校准，主流的做法是测量一个已知的距离(比如：1米、5米、10米等)，通过对比测量的数值与实际的数值来判断测量的精确度。但是这种方法存在有如下问题：1、检验的精度不够高；2、需要较大的场地。此外，它们通常具有用户友好的界面和操作方式，使得使用者能够轻松地进行测量和数据分析。防护激光位移传感器欢迎选购

2、与传统激光位移传感器相比，本发明所涉及的激光位移传感器在光学系统中，S方向的成像质量更高，进而从理论上可提高其测量精度；3、通过增加像散使线阵感光元件上的光斑信号呈现长条状态，增大光斑信号与像元之间的接触面积，进而降低机械件变形对信噪比的影响。在以上描述的实施例中，感光元件的感光单元沿着水平方向(将弧矢方向定义为水平方向)排列，将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在子午方向上的MTF值降低，而将弧矢方向上的MTF值拉高。在其他实施例中，感光元件的感光单元沿着竖直方向(将子午方向定义为竖直方向)排列，此时，可以将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在弧矢方向上的MTF值降低，而将子午方向上的MTF值拉高。这样，同样能够达到上述类似的技术效果。以上所述only为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。防护激光位移传感器欢迎选购它可以测量各种类型的物体，包括金属、塑料和液体等。

要想在工作范围内得到好的光斑质量，可采用柱面镜或非球面实现，另外波前编码和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3，4]，但这样的光学系统相对较复杂，元件较多，不宜装调，成本也会增长。因此，在精度允许的情况下，可考虑全部采用球面镜，不考虑焦深延拓，用变倍的方法实现在40、45、50、55、60mm物距处光斑大小尽量均匀一致。根据光谱分布，设定中心波长权重为3，边缘波长权重为1。要消掉少量的色差，系统至少需要两片镜片。根据以上要求选定了一个初始结构，经过优化得到以下best设计结果。图2为优化后的镜头结构(像距在50mm处)。表1为effective工作范围内轴上视场的光斑大小分布。

针对相关技术中的问题，本发明提出一种激光位移传感器，能够在不影响测量精度的情况下，降低成像物镜的设计难度，同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明，提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中，在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS＞MTFT×10；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT＞MTFS×10。[0015]可选地，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。激光位移传感器的使用非常方便。

激光位移传感器的测量精度容易受到被测物体表面特征的影响，为了减小测量误差，在整形镜设计中应尽量使出射光斑在有效的测量范围内实现光斑小且均匀。针对传感头小型化设计的要求，半导体激光器体积小、重量轻的优点正好符合这一要求，但其光束质量并不理想，需要对其进行光束整形。半导体激光器快慢轴的光束分布极不对称:快轴发散角较大，半角的典型值为30～40°，光束呈高斯分布，发光范围的半宽度为0.6～0.8μm，慢轴发散角的半角典型值为3～6°，光束分布不规则，发光范围半宽度为50～100μm。因此，在不允许能量损失的情况下，要求整形系统的物方数值孔径(NA)>0.573；但由于光束的快轴能量呈高斯分布，通常取半宽度(FWHM)为20°，此时NA=0.342。系统物距应尽量小一些，但考虑到工艺问题，不宜过小，选定为2.5mm。为了便于设计，将系统倒置，整个系统的主要要求为:工作波长为785±10nm，像方NA=0.342，像距l′=2.5mm，物距l=40～60mm，焦距f=3～4mm。它们通常具有小巧的尺寸和轻便的重量，可以方便地安装在各种设备和系统中。闵行区激光位移传感器零售价格

高精度激光位移传感器采用激光技术，能够实现非常精确的位移测量。防护激光位移传感器欢迎选购

激光位移传感器根据入射光角度的不同可分为直入射式和斜入射式两种[1]，本设计采用的是直入射式，其光路结构如图1所示。整套光路可以分为两部分，即整形系统和接收系统[2]。左边部分是光束整形系统，其作用是将激光器发出的光束汇聚在工作范围内，使汇聚的光斑尽量小而均匀。光源为半导体激光器(LD)，它经整形系统在测量范围50±10mm内形成均匀的光斑。后面则是光束接收系统，它将物体表面的漫反射光汇聚到光敏探测器上，使其精确成像。图中α为被测面与成像透镜光轴夹角，β为光敏探测器与光轴的夹角，do和di分别表示物距和像距。防护激光位移传感器欢迎选购