黄浦区激光位移传感器工厂

从图3所示的成像光学系统结构图可看出，在整个物面并不垂直于光轴时，经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴，与光轴存在一定的夹角β，设计的lastβ优化值取为60.4628°，此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状，此点列图表明成像光斑分布均匀，但还存在一定的剩余像差，主要为球差，光斑大小可见表2，光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm，经计算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。高精度激光位移传感器可以用于测量材料的压缩和伸展性能。黄浦区激光位移传感器工厂

加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度检测不仅包括非球面表面形状的检测，还包括非球面中心偏差的测量。要求非球面透镜的形状误差在几厘米到几十厘米的范围内小于1μm。受现有冷加工工艺、车床运动误差、磨削力变形及检测误差的限制，加工的非球面光学元件会产生一些质量缺陷，无法保证跨尺度的产品满足高精度要求。为了使非球面透镜表面形状误差、中心偏差等参数满足设计精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差检测信息进行多误差校正和补偿加工。赣州激光位移传感器产品基本性能要求激光位移传感器在精密制造行业中的应用案例。

从图2的镜头图可以看出，第二块透镜的半径很小，主要是为了保证系统在整个工作范围内得到相对均匀的光斑。表1给出了在工作范围内光斑的直径大小，maximum为0.4mm，在靠近透镜的一边，minimun为0.08mm，在55mm处。由于成像系统的入射光是整形部分光经过物体散射回去的，因此整形系统得到的光斑不能太小;同时为了保证精度要求，光斑也不能太大，上面的结果能够满足需求。得到好的出射光斑以后，如何接收物体表面的散射光并使其精确成像，是确保激光位移传感器精度的关键问题。在直入射式三角法测量中，物体沿激光入射方向移动，物面并不垂直于成像光轴。那么在透镜成像过程中(如图1)，由几何成像公式可证明： tanα/tanβ=d1/d',即为理想成像的Scheimpflug条件[5]。要想达到理想的成像效果，光电探测器需依此条件放置。

图3a至图3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置为满足上述要求的情况下，被感光元件接收到的光斑的形状。图3a是被测物体在激光位移传感器的best小量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm为物点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离1.627mm。图3b是被测物体在激光位移传感器的中间量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：0.0000，0.0000mm为物点在弧矢方向无偏离，在子午方向无偏离，IMA：-0.243，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-0.243mm。图3c是被测物体在激光位移传感器的比较大量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：2.1000，0.0000mm为物点在子午方向无偏离，相比于传统的接触式传感器，激光位移传感器不会对被测物体造成任何损伤或干扰，适用于对敏感物体进行测量。

值得一提的是，针对成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的实现方式可以包含以下两种：(方式1)成像物镜6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物镜6的T和S方向的MTF值接近时，在成像物镜前或后加入能够引入像散的光学元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微调成像物镜6与感光元件7之间的相对距离即像距，以达到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平yh它可以用于测量物体的形状和轮廓，以提供准确的几何信息。无锡激光位移传感器推荐

高精度激光位移传感器具有较高的灵敏度，能够检测微小的位移变化。黄浦区激光位移传感器工厂

2、与传统激光位移传感器相比，本发明所涉及的激光位移传感器在光学系统中，S方向的成像质量更高，进而从理论上可提高其测量精度；3、通过增加像散使线阵感光元件上的光斑信号呈现长条状态，增大光斑信号与像元之间的接触面积，进而降低机械件变形对信噪比的影响。在以上描述的实施例中，感光元件的感光单元沿着水平方向(将弧矢方向定义为水平方向)排列，将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在子午方向上的MTF值降低，而将弧矢方向上的MTF值拉高。在其他实施例中，感光元件的感光单元沿着竖直方向(将子午方向定义为竖直方向)排列，此时，可以将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在弧矢方向上的MTF值降低，而将子午方向上的MTF值拉高。这样，同样能够达到上述类似的技术效果。以上所述only为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。黄浦区激光位移传感器工厂