实际中,光谱共焦位移传感器可用于许多方面。它采用独特的光谱共焦测量原理,利用单探头可以实现对玻璃等透明材料的单向精确厚度测量,可有效监控药剂盘和铝塑泡罩包装的填充量,实现纳米级分辨率的精确表面扫描。该传感器可以单向测量试剂瓶的壁厚,并且对瓶壁没有压力 ,通过设计转向反射镜可实现孔壁结构检测和凹槽深度测量(90度侧向出光版本探头可直接测量深孔和凹槽)。光谱共焦传感器还可用于层和玻璃间隙测量,以确定单层玻璃层之间的间隙厚度。光谱共焦位移传感器在微机电系统、医学、材料科学等领域中有着广泛的应用。国内光谱共焦测量方法
在点胶工艺中生成的胶水小球目前只能通过视觉系统检验。在生产中必须保证点胶路线是连贯和稳定的,而通过色散共焦测量传感器系统就能够控制许多质检标准中的很多参数。胶水小球相对于其他结构必须安置在正中间。在点胶起始和结束的异常的材料积聚能被检测出来。色散共焦测量就连缺口也能被检测到。在3C领域,对于精密点胶的要求越来越高,这就要求必须实时检测胶水高度来实现精密点胶的闭环控制。由于胶水有透明及非透明多种材质,并且胶型轮廓较为复杂,倾斜角度大,传统激光传感器无法准确测量出胶水轮廓高度。创视智能探头拥有的测量角度 ,可以适用于各种胶水轮廓高度测量,特别是在圆孔胶高检测拥有的优势。所以目前业界通用做法,就是采用超大角度光谱共焦传感器,由于光谱共焦传感器采用白光,白光是复合光,总会有光线可以反射回来,而且针对弧面,加大了光笔的反射夹角(45°),所以才能完美的测出白色透明点胶的轮廓。品牌光谱共焦性价比高企业激光位移传感器的应用主要是用于非标的特定检测设备中。
靶丸内表面轮廓是激光核聚变靶丸关键参数之一,需要进行精密检测。本文基于白光共焦光谱和精密气浮轴系,分析了靶丸内表面轮廓测量的基本原理,并建立了相应的白光共焦光谱测量方法。同时,作者还搭建了靶丸内表面轮廓测量实验装置,并利用靶丸光学图像的辅助调心方法,实现了靶丸内表面低阶轮廓的精密测量,获得了准确的靶丸内表面轮廓曲线。作者在实验中验证了测量结果的可靠性,并进行了不确定度分析,结果表明,白光共焦光谱能够实现靶丸内表面低阶轮廓的精密测量 。
在硅片栅线的厚度测量过程中,创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光谱共焦位移传感器具有0.025 µm的重复精度,±0.02%的线性精度,10kHz的测量速度和±60°的测量角度。它适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面和多层玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太网和模拟量数据传输接口。在测量太阳能光伏板硅片栅线厚度时,使用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线厚度可通过栅线高度与基底高度之差获得,通过将需要扫描测量的硅片标记三个区域并使用光谱共焦C1200单探头单侧测量来完成测量。由于栅线不是平整面,并且有一定的曲率,因此对于测量区域的选择具有较大的随机性影响。光谱共焦位移传感器采用的是非接触式测量方式,可以避免传统测量方式中的接触误差。
随着精密仪器制造业的发展,对工业生产测量的精度和适应性要求越来越高,需要具有高精度、适应性强和实时无损检测等特性的位移传感器。光谱共焦位移传感器的问世解决了这个问题,它是一种非接触式光电位移传感器,可达到亚微米级甚至更高的测量精度。传感器对于杂光等干扰光线并不敏感,具有较强的抵抗能力,适应性强,且具有小型化的特点,应用前景广阔。光学色散镜头是光谱共焦位移传感器的重要组成部分之一 ,其性能参数对于位移传感器的测量精度和分辨率具有决定性作用。光谱共焦位移传感器可以实现对不同材料的位移测量,包括金属、陶瓷、塑料等!高速光谱共焦定做
光谱共焦位移传感器的测量精度和稳定性受到光源、光谱仪和探测器等因素的影响。国内光谱共焦测量方法
光谱共焦传感器通过使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面上来工作。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。每个波长都有一定的偏差(特定距离)进行工厂校准。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。经过共焦孔径从目标表面反射回来的光进入光谱仪进行检测和处理。在整个传感器的测量范围内,实现了一个非常小的、恒定的光斑尺寸,通常小于10微米。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔内壁面,以及测量窄孔、小间隙和空腔 。国内光谱共焦测量方法