物体的表面形貌可以基于距离的确定来进行。光谱共焦传感器还可用于测量气缸套的圆度、直径、粗糙度和表面结构。当测量对象包含不同类型的材料(例如塑料和金属)时,尽管距离值保持不变,但反射率会突出材料之间的差异。划痕和不平整会影响反射度并变得可见。在检测到信号强度的变化后,系统会创建目标及其精细结构的精确图像。 除了距离测量之外,另一种选择是使用信号强度进行测量,这可以实现精细结构的可视化 。通过恒定的曝光时间,可以获得关于表面评估的附加信息,而这靠距离测量是不可能的。光谱共焦三维形貌仪用超大色散线性物镜组设计是一项重要的研究内容。小型光谱共焦排名
光谱共焦位移传感器基本原理如图1所示,由光源、分光镜、光学色散镜头组、小孔以及光谱仪等部分组成。传感器通过色散镜头进行色散,将位移信息转换成波长信息,使用光谱仪进行光谱分解得出波长的变化信息,再反解得出被测位移。其中色散镜头作为光学部分完成了波长和位移的一一映射 ,实现了波长和位移之间的编码转化。光谱仪则实现波长的测量及位移反解输出。当光谱信息突破小孔的限制,借助平面光栅、凹面反射镜进行光线的衍射和汇聚,将反射出来的汇聚光照射在线阵CCD上进行光电转换,借助光谱信号采集实现模数转换, 通过解码得到位移信息。高性能光谱共焦测厚度光谱共焦位移传感器采用的是非接触式测量方式,可以避免传统测量方式中的接触误差。
光谱共焦位移传感器作为一种新型位移传感器,因为其测量精度高,对于杂光等干扰光线传感器不敏感具有较强的抵抗能力等特点,应用前景十分大量。文章通过对原理的分析,设计了一款色散镜头使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正负透镜组分离结构组合形成镜头组,使用凹凸透镜补偿法该镜,在486, ..._,656nm波长范围内,色散范围约为焦量与波长之间通过线性拟合所得其线性性达到0.9976,很好的平衡了传感器各个聚焦位置的灵敏度,配以合适的光谱仪,传感器的分辨率可达到5nm的测量精度。符合设计要求产生了较大的线性轴向色散,在保证大色散范围的同时轴向色散与波长之间也存在着好的线性。
光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低以及高分辨率等特点,已成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量和3C电子等领域广泛应用。本次测量场景采用了创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度、±0.02%的线性精度,30kHz的采样速度和±60°的测量角度,适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网和模拟量的数据传输接口。光谱共焦技术在汽车制造中可以用于零件的精度检测和测量。
光谱共焦测量技术是共焦原理和编码技术的结合。白色光源和光谱仪可以完成一个相对高度范围的准确测量。光谱共焦位移传感器的准确测量原理如图1所示。在光纤和超色差镜片的帮助下,产生一系列连续而不重合的可见光聚焦点。当待测物体放置在检测范围内时,只有一种光波长能够聚焦在待测物表面并反射回来,产生波峰信号。其他波长将失去对焦 。使用干涉仪的校准信息可以计算待测物体的位置,并创建对应于光谱峰处波长偏移的编码。超色差镜片通过提高纵向色差,可以在径向分离出电子光学信号的不同光谱成分,因此是传感器的关键部件,其设计方案非常重要。光谱共焦位移传感器可以用于材料的弹性模量、形变和破坏等参数的测量。点光谱共焦企业
光谱共焦技术可以测量位移,利用返回光谱的峰值波长位置。小型光谱共焦排名
光谱共焦位移传感器包括光源、透镜组和控制箱等组成部分 。光源发出一束白光,透镜组将其发散成一系列波长不同的单色光,通过同轴聚焦在一定范围内形成一个连续的焦点组 ,每个焦点的单色光波长对应一个轴向位置。当样品位于焦点范围内时,样品表面会聚焦后的光反射回去,这些反射回来的光再经过与镜头组焦距相同的聚焦镜再次聚焦后通过狭缝进入控制箱中的单色仪。因此,只有位于样品表面的焦点位置才能聚焦在狭缝上,单色仪将该波长的光分离出来,由控制箱中的光电组件识别并获取样品的轴向位置。采用高数值孔径的聚焦镜头可以使传感器达到较高分辨率,满足薄膜厚度分布测量要求。小型光谱共焦排名