光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被大量应用于工业级测量。让我们先来看一下光谱共焦技术的起源和光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的成熟典型应用。共焦显微术的概念首先是由美国的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建台共焦显微镜, 并于1957年申请了专利。自20世纪90年代, 随着计算机技术的飞速发展, 共焦显微术成了研究的热点,得到快速的发展。光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,其无需轴向扫描, 直接由波长对应轴向距离信息, 从而大幅提高测量速度。 而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、 非接触式的新型传感器, 目前精度上可达nm量级。 共焦测量术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学 、材料科学、半导体制造、 表面工程研究、 精密测量等领域得到大量应用。光谱共焦位移传感器可以实现对材料的变形过程进行实时监测,对于研究材料的力学行为具有重要意义。高采样速率光谱共焦供应商
光谱共焦位移传感器包括光源、透镜组和控制箱等组成部分 。光源发出一束白光,透镜组将其发散成一系列波长不同的单色光,通过同轴聚焦在一定范围内形成一个连续的焦点组 ,每个焦点的单色光波长对应一个轴向位置。当样品位于焦点范围内时,样品表面会聚焦后的光反射回去,这些反射回来的光再经过与镜头组焦距相同的聚焦镜再次聚焦后通过狭缝进入控制箱中的单色仪。因此,只有位于样品表面的焦点位置才能聚焦在狭缝上,单色仪将该波长的光分离出来,由控制箱中的光电组件识别并获取样品的轴向位置。采用高数值孔径的聚焦镜头可以使传感器达到较高分辨率,满足薄膜厚度分布测量要求。光谱共焦供应激光位移传感器可分为点、线两种。
集成于2D扫描系统上,光谱共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和高度测量数据。创新的光谱共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度,整个过程需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器,本仪器因采用同轴光,从而可以更有效地测量弧工件的厚度。高采样频率,小尺寸体积和卡放的数据接口,使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中 ,实现线上检测。由于采用超高的采样频率和超高精度,光谱共焦传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计,避免测量过程中对震动物件造成干扰,同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。
客户一直使用洁净室中的激光测量设备来检查对齐情况,但每个组件的对齐检查需要大约十分钟,时间太长了。因此,客户要求我们开发一种特殊用途的测试和组装机器,以减少校准检查所需的时间。现在,我们使用机器人搬运系统将阀门、阀瓣和销组件转移到专门的自动装配机中。为了避免由于移动机器人的振动引起的任何测量干扰,我们将光谱共焦位移传感器安装在单独的框架和支架上,尽管仍然靠近要测量的部件。该机器已经经过测试和验证 。光谱共焦技术具有精度高、效率高等优点。
光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来的技术 ,在测量过程中无需轴向扫描,直接由波长对应轴向距离信息,因此可以大幅提高测量速度。基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器,精度理论上可达到纳米级。由于光谱共焦传感器对被测表面状况要求低、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高,因此迅速成为工业测量的热门传感器,大量应用于精密定位、薄膜厚度测量、微观轮廓精密测量等领域。本文介绍了光谱共焦技术的原理,并列举了光谱共焦传感器在几何量计量测试中的典型应用。同时,对共焦技术在未来精密测量的进一步应用进行了探讨,并展望了其发展前景。光谱共焦技术主要来自共焦显微术,早期由美国学者Minsky提出。防水光谱共焦厂家现货
光谱共焦技术具有很大的市场潜力。高采样速率光谱共焦供应商
在工业领域 ,光谱共焦传感器的应用可以帮助企业实现更高精度的加工,提高产品的质量和生产效率。首先,高精度光谱共焦传感器可以实现对加工表面形貌的j精确测量。在精加工过程中,产品的表面形貌对产品的质量有着至关重要的影响。传统的测量方法往往需要接触式测量,不仅测量精度受限,而且容易对产品表面造成损伤。而光谱共焦传感器能够实现非接触式的高精度测量,不仅可以实现对产品表面形貌的整体测量,而且对产品表面不会造成任何损伤,极大地提高了测量的精度和可靠性。传统的检测方法往往需要取样送检,耗时耗力,而且无法实现对加工过程的实时监测。而光谱共焦传感器能够通过对反射光的分析,准确地获取产品表面的颜色和成分信息,实现对加工过程的实时监测和反馈,为企业提供了更加可靠的质量保证。高精度光谱共焦传感器在精加工领域的应用还可以帮助企业实现对加工工艺的优化和提升。通过对产品表面形貌、颜色以及成分等信息的完整获取,企业可以更加深入地了解产品的加工特性,发现潜在的加工问题,并针对性地进行工艺优化和改进,提高产品的加工精度和一致性,降低生产成本,提高企业的竞争力。高采样速率光谱共焦供应商