高精度位移传感器的用途

激光位移传感器是一种非接触式测量设备，主要用于非标检测设备中，国内使用的激光测量仪器几乎完全依赖国外进口。该传感器具有同步功能，可用于差动测厚、测长等，特别适用于工业自动化生产。激光位移传感器的测量性能可用于在线测量位移、三维尺寸、厚度、表面轮廓、物体形变、振动、液位、工件分拣等应用。此外，该传感器还可用于大型构件如桥梁、飞机和舰船骨架、机床导轨的定位安装，以及动态监测重要构件在承载时发生微量变形。激光位移传感器的测量范围通常较窄，但是可以通过搭配不同的反射板、透镜等配件实现不同范围的测量。高精度位移传感器的用途

加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度检测不仅包括非球面表面形状的检测，还包括非球面中心偏差的测量。要求非球面透镜的形状误差在几厘米到几十厘米的范围内小于1μm。受现有冷加工工艺、车床运动误差、磨削力变形及检测误差的限制，加工的非球面光学元件会产生一些质量缺陷，无法保证跨尺度的产品满足高精度要求。为了使非球面透镜表面形状误差、中心偏差等参数满足设计精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差检测信息进行多误差校正和补偿加工。高精度位移传感器的用途激光位移传感器通常用于工业生产自动化控制、质量检测、机器人、医疗等领域。

激光位移传感器在工业生产中扮演着重要的角色，主要应用于非标准检测设备中。由于国内激光非接触测量仪器主要依赖进口，因此研究和生产激光位移传感器具有非常重要的意义，可以提高国内工业生产的自主创新能力和技术水平。激光位移传感器的测量原理是利用激光单色和准直特性将垂直入射测距面上的激光点通过光学系统将其缩小的实像成像在接收光敏面上。通过计算光斑实际的位移大小，就可以实现对物件位移量的测量。因此，研究激光位移传感器的系统特点和工作原理非常重要，可以提高其测量精度和稳定性。

激光三角法测量不仅具有大的偏置距离和大的测量范围，而且测量系统结构相对简单，维护方便，可有效应用于三维曲面的非接触精密测量中；但同时由于其测量精度与被测物体表面结构、特性及环境条件等因素有关，当激光三角法应用于易拉罐罐盖开启口压痕残余厚度测量时，要求测量精度达到1μm，从上面的分析可以看到，由于激光光点尺寸、激光散斑和精细结构对测量精度的影响，导致激光三角法测量结果失去实际的参考价值。所以为了提高测量精度，必须针对罐盖微小刻痕的具体结构选用适当的激光尺寸、尽可能抑制激光散斑及环境因素对测量精度的影响。激光位移传感器的测量范围较窄，通常适用于小范围、高精度的测量。

当以一端孑L轴线为基准来求同轴度时，此时对于测量装置的测量精度要求非常高，因为当孔间距大时，同轴度误差受测量误差的影响很大。如图2所示，在左侧基准圆柱上测量两个截面圆，构造一条直线。假设基准圆柱上两测量截面间的距离较小，距离为10mm，而基准圆柱一截面与被测圆柱一截面间的距离较大，距离为100mm，即该检测方案的同轴度对采样点的敏感系数很大。如果基准圆柱第二截面圆的圆心有5“m的测量误差，则测量轴线到达被检截面时已偏离了5μmxl00／10=50μm。此时即使被检轴线与基准轴线完全同轴，同轴度误差的测量结果也会有接近2μm×50=100μm的误差。所以，对于减速器轴承孔这种“短基准、长距离”的同轴度检测问题来说，测量误差容易被放大。实际中，应以两轴承孔的公共轴线作为基准，然后分别求得两端轴线的两端点到基准轴线的距离，四者距离中的最大值的2倍作为减速器两端轴承孔的同轴度。该测量方法类似于传统的芯轴检测方式，也类似于零件的装配过程，同时也避免了测量误差放大的现象产生。激光位移传感器是一种高精度、高分辨率的测量仪器。高速位移传感器调试

激光位移传感器的测量原理是利用激光束在物体表面反射产生的光学信号进行测量。高精度位移传感器的用途

实验前先调整实验装置，使转轴轴心线与平移台行进方向平行，每次采集数据前将转轴回到编码器设置的机械原点，再进行轴承孔内表面信息的采集，然后求出两端轴承孑L理想轴心线相对于转轴轴线的位置即可。图6给出轴承孑L与转轴轴心线的简图形式。圆柱为圆柱孔内表面，0Z为转轴轴心线，X0y为转轴旋转一周数据点所在的横截面，沿着轴OZ，二维激光传感器X轴测量范围内有多少个采样点就有多少个垂直于轴OZ的平面。0Z。为圆柱孔理想轴心线。易知，当传感器绕着转轴OZ旋转，激光在圆柱孔截面XOy将会是类椭圆的形状。所求的目标是在坐标系XyZ中，理想轴心线o。Z。所在的直线方程。一种方法是用椭圆公式，对在截面X0y上的数据点利用小二乘法拟合出截面中心，然后通过各截面的中心点，再利用小二乘法拟合出理想轴心线0。Z。，进而计算出同轴度。另一种方法直接对全部点用小二乘法拟合出理想轴心线。本文采用后一种思路，因为后一种只采用了一次小二乘法，且小二乘法用的公式是圆函数方程，能更加精确地求出圆柱的理想轴心线。高精度位移传感器的用途