线阵光谱共焦测量方法

光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低以及高分辨率等特点，已成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量和3C电子等领域广泛应用。本次测量场景采用了创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度、±0.02%的线性精度、30kHz的采样速度和±60°的测量角度，适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网和模拟量的数据传输接口。光谱共焦厚度检测系统可以实现厚度的非接触式测量；线阵光谱共焦测量方法

光谱共焦传感器结合了高精度和高速度的现代技术，在工业 4.0 的高要求下，这些多功能距离和位移传感器非常适合使用。在工业 4.0 的世界中，传感器必须进行高速测量并提供高精度结果，以确保可靠的质量保证。由于光学测量技术是非接触式的，它们在生产和检测过程中变得越来越重要，可以单独应用于目标材料分开和表面特性。这是在“实时”生产过程中的一个主要优势，尤其是当目标位于难以接近的区域时，触觉测量技术正在发挥其极限。共焦色差测量技术提供突破性的技术，高精度和高速度，并且可以用于距离测量、透明材料的多层厚度测量、强度评估以及钻孔和凹槽内的测量。测量过程是无磨损的、非接触式的，并且实际上与表面特性无关。由于测量光斑尺寸很小，即使是非常小的物体也能被检测到。因此，共焦色度测量技术适用于在线质量控制。品牌光谱共焦制造厂家光谱共焦位移传感器的工作原理是通过激光束和光纤等光学元件实现的。

三坐标测量机是加工现场常用的高精度产品尺寸及形位公差检测设备，具有通用性强，精确可靠等优点。本文面向一种特殊材料异型结构零件内曲面的表面粗糙度测量要求，提出一种基于高精度光谱共焦位移传感技术的表面粗糙度集成在线测量方法，利用工业现场常用的三坐标测量机平台执行轮廓扫描，并记录测量扫描位置实时空间横坐标，根据空间坐标关系，将测量扫描区域的微观高度信息和扫描采样点组织映射为微观轮廓，经高斯滤波处理和评价从而得到测量对象的表面粗糙度信息。

玻璃基板是液晶显示屏必不可少的零部件之一，一张液晶显示屏要用二张玻璃基板，各自做为底层玻璃基板和彩色滤底版应用。玻璃基板的品质对控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、净重、可视角度等数据都是有关键危害。玻璃基板是组成液晶显示屏元器件一个基本上构件。这是一种表层极为平坦的方法生产制造薄玻璃镜片。现阶段在商业上运用的玻璃基板，其厚度为0.7 mm及0.5m m，且将要迈进特薄厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因为玻璃基板厚度很薄，而厚度规格监管又比较严格，一般在0.01mm的公差，关键清晰地测量夹层玻璃厚度、涨缩和平面度。选用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以非常好的处理这一难题，一次测量就可以完成了相对高度值、厚度系数的收集，再加上与此同时选用多个感应器测量，不仅提高了效率，并且防止触碰测量所造成的二次损害。光谱共焦技术的发展将促进相关产业的发展；

光谱共焦传感器在数码相机中的应用包括相位测距，可大幅提高相机的对焦精度和成像质量，并通过检测相机的微小振动，实现图像的防抖和抗震功能。同时，光谱共焦传感器还可用于计算机硬盘的位移和振动测量，从而实现对硬盘存储数据的稳定性和可靠性的实时监控。在硬盘的生产过程中，光谱共焦传感器也可用于进行各种机械结构件的位移、振动和形变测试。在3C电子行业中，光谱共焦传感器的应用领域非常广，可用于各种管控和检测环节，在实现高精度和高可靠性的测量和检测方面发挥着重要作用。光谱共焦位移传感器可以实现对材料的振动频率和振动幅度的测量，对于研究材料的振动特性具有重要意义；线阵光谱共焦测量方法

该传感器具有高精度、高灵敏度、高稳定性等特点，适用于微纳尺度的位移变化测量。线阵光谱共焦测量方法

三坐标测量机是加工现场常用的高精度产品尺寸及形位公差检测设备，其具有通用性强，精确可靠等优点。本文面向一种特殊材料异型结构零件内曲面的表面粗糙度测量要求，提出一种基于高精度光谱共焦位移传感技术的表面粗糙度在线测量的方法，利用工业现场常用的三坐标测量机平台执行轮廓扫描，并记录测量扫描位置实时空间横坐标，根据空间坐标关系，将测量扫描区域的微观高度信息和扫描采样点组织映射为微观轮廓，经高斯滤波处理得到测量对象的表面粗糙度信息。线阵光谱共焦测量方法