实验前先调整实验装置，使转轴轴心线与平移台行进方向平行，每次采集数据前将转轴回到编码器设置的机械原点，再进行轴承孔内表面信息的采集，然后求出两端轴承孑L理想轴心线相对于转轴轴线的位置即可。图6给出轴承孑L与转轴轴心线的简图形式。圆柱为圆柱孔内表面，0Z为转轴轴心线，X0y为转轴旋转一周数据点所在的横截面，沿着轴OZ，二维激光传感器X轴测量范围内有多少个采样点就有多少个垂直于轴OZ的平面。0Z。为圆柱孔理想轴心线。易知，当传感器绕着转轴OZ旋转，激光在圆柱孔截面XOy将会是类椭圆的形状。所求的目标是在坐标系XyZ中，理想轴心线o。Z。所在的直线方程。一种方法是用椭圆公式，对在截面X0y上的数据点利用小二乘法拟合出截面中心，然后通过各截面的中心点，再利用小二乘法拟合出理想轴心线0。Z。，进而计算出同轴度。另一种方法直接对全部点用小二乘法拟合出理想轴心线。本文采用后一种思路，因为后一种只采用了一次小二乘法，且小二乘法用的公式是圆函数方程，能更加精确地求出圆柱的理想轴心线。激光位移传感器可以通过多种反射板、透镜、精密磁盘、刀具等配套组件实现不同的测量要求。国内位移传感器常用解决方案
激光三角测量是一种成熟的测量方法,具有原理简单,测量精度高以及抗干扰能力强等优点。目前,国外多家公司都有这个领域的产品系列。激光位移传感器有多种型号,适用于不同的测量距离范围,测量精度处较高水平,但价格也普遍偏高。近年来,国内各大院校和研究机构在激光三角测距传感器的设计和应用上取得了一定研究成果,也有少数企业推出了自主研发的产品。随着工业水平的提升,以及测量需求的多样化,有必要自主设计适用于特定测量条件下的高精度激光位移传感器。针对现有项目,需要测量出环规的直径,要求传感器工作距离不小于50mm,测量精度优于10μm,并且被测面为漫反射较弱的光滑表面,其表面粗糙度Ra小于μm。本文分析了工作距离不小于50mm时利用激光三角法测量光滑表面位移的精度提高问题,对传感器结构参数进行优化设计,并搭建了一套基于线阵CCD的激光三角测距装置进行实验验证。国内位移传感器的用途激光位移传感器适用于工业自动化控制、机器人控制、精密制造等领域。
回复 吴佳如: “随后安装在贴装台单元上的激光位移传感器403检测键合头370上拾取的芯片的倾角，结合两位移传感器360和403的初始角度差值，利用调平机构340对芯片做出与贴装台401上贴装位间的平行调整；其调平的具体实现过程如下：音圈电机343动作，从而实现音圈模组341产生平行于电机轴向的位移，继而导致下方动平台342产生绕u轴或者v轴（与u轴垂直）方向的转动，从而实现动平台342倾角的调整，使得连接在动平台上的键合头370与贴装台401上基板贴装位平行，保证键合压力均匀；”扩展在贴装过程中，如果芯片的倾角不正确，将会影响键合头和芯片之间的键合精度和贴装质量。因此，需要使用激光位移传感器对芯片的倾角进行检测，并使用调平机构对其进行调整。具体实现过程是，将激光位移传感器403安装在键合头370上拾取的芯片上，通过结合两个位移传感器360和403的初始角度差值，可以确定芯片的倾角。然后，利用调平机构340对芯片进行平行调整，使芯片倾角与贴装台401上的贴装位平行。
激光三角法原理激光三角法原理框图如图所示，由光源发出的一束激光照射在待测物体平面上，通过反射之后在检测器上成像。当物体表面的位置发生改变时，其所成的像在检测器上也发生相应的位移。通过像移和实际位移之间的关系式，真实的物位移可以由对像移的检测和计算得到，计算公式为：
x=ax'/（bsinθ-x'cosθ）（1）
式中：x，x'分别是被测物位移和光敏器件上像斑的位移；a，b，θ是系统的结构参数，是根据具体使用要求而选定的。由此可见精确地测量X7就可以得到被测物体的位移量，这就是激光三角法测量位移的原理。 选择适合自己需求的激光位移传感器需要考虑精度、分辨率、速度、测量范围、工作环境等诸多因素。
液晶玻璃基板品质管控要求严格、设备精度要求高，传统的接触式测厚装置因其测量精度差、测量频次有限而无法形成连续测量、接触式测量装置损耗快，需频繁定期更换等不足，已无法满足当前生产要求。激光测厚装置的应用有效弥补了接触式测厚装置的不足，从效率、精度、准度、连续性、可追溯性上对测厚技术进行升级。激光是由激光器产生的一种特殊的平行光束，它具有方向性强、亮度高、颜色纯、光脉冲宽度窄等优异物理特性。激光在线测厚仪一般是由两个激光位移传感器上下对射的方式组成，上下的两个传感器分别测量玻璃基板上表面的位置和下表面的位置，通过计算机计算得到玻璃基板的厚度。激光位移传感器可以测量物体的线性位移、旋转角度、倾斜度、弯曲度、振动等参数，具有多种功能。国产位移传感器
激光位移传感器的精度高达亚微米级别，并且响应速度快，适用于高速运动物体的测量。国内位移传感器常用解决方案
高精度位移传感器的应用非常广，其主要特点是精度高、分辨率高、灵敏度高、反应速度快、稳定性好等。在机械制造、航空航天、汽车工业、电子制造等领域中，高精度位移传感器可以用于位移测量、位置管控和质量检测等方面的应用。例如，在精密加工中，高精度位移传感器可以用于测量加工零件的尺寸和形状，保证加工质量和精度。在机器人管控中，高精度位移传感器可以用于测量机器人的位置和姿态，实现机器人的精确管控和导航。在航空航天领域中，高精度位移传感器可以用于测量飞行器的姿态和变形，保证飞行器的安全和稳定性。总之，高精度位移传感器是现代制造和管控技术中的重要组成部分，对提高产品质量和生产效率具有重要作用。国内位移传感器常用解决方案