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内径测量 光谱共焦主要功能与优势

来源: 发布时间:2024年03月04日

光谱共焦技术将轴向距离与波长建立起一套编码规则,是一种高精度、非接触式的光学测量技术。基于光谱共焦技术的传感器作为一种亚微米级、快速精确测量的传感器,已经被大量应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控及过程控制等工业测量领域。展望其未来,随着光谱共焦传感技术的发展,必将在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量计量测试等领域得到更多的应用。光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,其无需轴向扫描,直接由波长对应轴向距离信息,从而大幅提高测量速度。光谱共焦位移传感器采用的是非接触式测量方式,可以避免传统测量方式中的接触误差。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

高精度光谱共焦位移传感器具有非常高的测量精度。它能够实现纳米级的位移测量,对于晶圆表面微小变化的检测具有极大的优势。在半导体行业中,晶圆的表面质量对于芯片的制造具有至关重要的影响,因此需要一种能够jing'q精确测量晶圆表面位移的传感器来保证芯片的质量。其次,高精度光谱共焦位移传感器具有较高的测量速度。它能够迅速地对晶圆表面进行扫描和测量,极大地提高了生产效率。在晶圆制造过程中,时间就是金钱,因此能够准确地测量晶圆表面位移对于生产效率的提高具有重要意义。另外,高精度光谱共焦位移传感器具有较强的抗干扰能力。它能够在复杂的环境下进行稳定的测量,不受外界干扰的影响。在半导体制造厂房中,存在各种各样的干扰源,如电磁干扰、光学干扰等,而高精度光谱共焦位移传感器能够抵御这些干扰,保证测量的准确性和稳定性。点光谱共焦厂家供应该技术可以采集样品不同深度处的光谱信息进行测量;

玻璃基板是液晶显示屏必须的部件之一,每个液晶屏需要两个玻璃基板,用作底部基板和彩色滤光片底部的支撑基板。玻璃基板的质量对面板的分辨率、透光度、厚度、净重和可见角度等参数都有很大的影响。玻璃基板是液晶显示屏中基本的构件之一,其制备过程需要获得非常平坦的表面。当前在商业上使用的玻璃基板厚度为0.7毫米和0.5毫米,未来还将向更薄的特殊groove(如0.4毫米)厚度发展。大多数TFT-LCD稳定面板需要两个玻璃基板。由于玻璃基板很薄,而厚度规格要求相当严格,通常公差稳定在0.01毫米,因此需要对夹层玻璃的厚度、膨胀和平面度进行清晰的测量。使用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以很好地解决这个问题,一次测量就可以获得多个高度值和厚度补偿。同时,可以使用多个传感器进行测量,不仅可以提高效率,还可以防止接触式测量所带来的二次损伤。

光谱共焦是一种先进的光学显微镜技术,通过聚焦光束在样品上,利用谱学分析方法获取样品的高分辨率成像和化学信息。我们公司的产品,光谱共焦显微镜,具有以下特点:1.高分辨率成像:光谱共焦显微镜采用先进的光学系统和探测器,能够实现超高分辨率的样品成像,捕捉到细微的细节和微观结构。2.多模式测量:我们的光谱共焦系统支持多种成像模式,包括荧光成像、二阶谐波成像等,可满足不同应用领域的需求。3.实时成像和谱学分析:光谱共焦技术可以实时获取样品的成像和谱学信息,为研究人员提供了及时、准确的数据,加速科学研究的进展。4.非破坏性分析:光谱共焦显微镜采用非接触式成像,无需对样品进行处理或破坏,保持了样品的完整性,适用于对生物、材料等敏感样品的研究。我们致力于为各个领域的研究人员提供先进、可靠的光谱共焦显微镜产品,助力科学研究的发展。如果您对我们的产品感兴趣或有任何疑问,请随时联系我们,我们将竭诚为您服务。通过我们的光谱共焦显微镜,您将享受到前所未有的高分辨率成像和谱学分析的乐趣!光谱共焦位移传感器具有高灵敏度和迅速响应的特点,可以实现实时测量和监测。

在硅片栅线的厚度测量过程中,创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光谱共焦位移传感器具有0.025 µm的重复精度,±0.02%的线性精度,10kHz的测量速度和±60°的测量角度。它适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面和多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网和模拟量数据传输接口。在测量太阳能光伏板硅片栅线厚度时,使用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线厚度可通过栅线高度与基底高度之差获得,通过将需要扫描测量的硅片标记三个区域并使用光谱共焦C1200单探头单侧测量来完成测量。由于栅线不是平整面,并且有一定的曲率,因此对于测量区域的选择具有较大的随机性影响。光谱共焦位移传感器的测量精度和稳定性受到光源、光谱仪和探测器等因素的影响。防水型光谱共焦招商加盟

该传感器基于光谱共焦原理,能够实现对微小物体表面的位移变化进行高精度的非接触式测量。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

高像素传感器的设计取决于对焦水平和图像室内空间NA的要求。同时,在光谱共焦位移传感器中,屏幕分辨率通常采用全半宽来进行精确测量。高NA可以降低半宽,提高分辨率。因此,在设计超色差摄像镜头时,需要尽可能提高NA。高图像室内空间NA可以提高传感器系统的灯源使用率,并允许待测表面在相对大的角度或某些方向上倾斜。但是,同时提高NA也会导致球差扩大,并增加电子光学设计的优化难度。传感器的检测范围主要取决于超色差镜片的纵向色差。因为光谱仪在各个波长的像素应该是一致的,如果纵向色差与波长之间存在离散系统,这种离散系统也会对传感器的像素或灵敏度在不同波长上造成较大的差别,从而损害传感器的特性。通过使用自然散射的玻璃或者衍射光学元件(DOE)可以形成足够强的色差。然而,制造难度和成本相对较高,且在可见光范围内透射损耗也非常高。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

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