谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。
本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的采样速度,以及±65°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。 光谱共焦技术可以对材料表面和内部进行非接触式的检测和分析;怎样选择光谱共焦设备生产
采用对比测试方法,首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核。为了便于比较,将原子力显微镜轮廓仪的测量数据进行了偏移。二者的低阶轮廓整体相似,局部的轮廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精确测量圆周轮廓结果不一致;此外,白光共焦光谱的信噪比较原子力低,这表明白光共焦光谱适用于靶丸表面低阶的轮廓误差的测量。在模数低于100的功率谱范围内,两种方法的测量结果一致性较好,当模数大于100时,白光共焦光谱的测量数据大于原子力显微镜的测量数据,这也反应了白光共焦光谱仪在高频段测量数据信噪比相对较差的特点。由于光谱传感器Z向分辨率比原子力低一个量级,同时,受环境振动、光谱仪采样率及样品表面散射光等因素的影响,共焦光谱检测数据高频随机噪声可达100nm左右。工厂光谱共焦源头直供厂家光谱共焦技术的发展将促进相关产业的发展;
光谱共焦传感器通过使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面上来工作。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。每个波长都有一定的偏差(特定距离)进行工厂校准。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。经过共焦孔径从目标表面反射回来的光进入光谱仪进行检测和处理。在整个传感器的测量范围内,实现了一个非常小的、恒定的光斑尺寸,通常小于10微米。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔内壁面,以及测量窄孔、小间隙和空腔。
硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器,TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 μm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。我们主要测量太阳能光伏板硅片删线的厚度,所以这次用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线测量方法:首先我们将需要扫描测量的硅片选择三个区域进行标记如图1,用光谱共焦C1200单探头单侧测量,栅线厚度是栅线高度-基底的高度差。二维运动平台扫描测量(由于栅线不是一个平整面,自身有一定的曲率,对测量区域的选择随机性影响较大)。该传感器基于光谱共焦原理,能够实现对微小物体表面的位移变化进行高精度的非接触式测量。
本文提出了一种基于高精度光谱共焦位移传感技术的表面粗糙度集成在线测量方法,适用于一种特殊材料异型结构零件内曲面的表面粗糙度测量要求。该方法利用三坐标测量机平台对零件进行轮廓扫描,并记录测量扫描位置的空间横坐标,然后根据空间坐标关系,将微观高度信息和采样点组合成微观轮廓,通过高斯滤波和评价得到表面粗糙度信息。三坐标测量机具有通用性强、精度可靠,自动化程度高等优点,这种方法可以实现在线测量,提高测量效率和精度。 光谱共焦技术具有轴向按层分析功能;工厂光谱共焦源头直供厂家
光谱共焦技术可以实现对样品的三维成像和分析;怎样选择光谱共焦设备生产
随着科技的不断进步,手机已经成为我们日常生活中不可或缺的一部分。然而,随着手机功能的不断扩展和提升,手机零部件的质量和精度要求也越来越高。为了满足这一需求,高精度光谱共焦传感器被引入到手机零部件检测中,为手机制造业提供了一种全新的解决方案。高精度光谱共焦传感器是一种先进的光学检测设备,它能够实现在微米级别的精确测量,同时具有高速、高分辨率和高灵敏度的特点。这使得它在手机零部件检测方面具有独特的优势。首先,高精度光谱共焦传感器能够实现对手机零部件表面缺陷的高精度检测,包括微小的划痕、凹陷和颗粒等。其次,它还能够对手机零部件的材料成分进行准确分析,确保手机零部件的质量符合要求。另外,高精度光谱共焦传感器还能够实现对手机零部件的尺寸和形状的精确测量,确保手机零部件的精度和稳定性。在实际应用中,高精度光谱共焦传感器在手机零部件检测中的应用主要包括以下几个方面。首先,它可以用于对手机屏幕玻璃表面缺陷的检测,如微小的划痕和瑕疵。其次,可以用于对手机电池的材料成分和内部结构进行分析,确保电池的性能和安全性。另外,它还可以用于对手机金属外壳的表面进行检测,确保外壳的光滑度和一致性。怎样选择光谱共焦设备生产