洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题①静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态;②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始;③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定;④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时,进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室,在室内尽量处于下风处并静止少动。蔚亚科技专业检测具备CMA国家检测资质。山东排风柜检测认真负责
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
检测优化价格净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。
目前有些单位在做洁净室(区)测试消毒时,使用甲醛液熏蒸的方法,从沉降菌测试结果看,与用上述消毒剂消毒的结果差别不大,但未能有效地中和甲醛蒸气,如含量一旦超标,将有可能引发呼吸道疾病和皮肤炎症,甚至会致*。洁净室(区)测试中应对甲醛灭菌残留量项目制定监控指标。有些医院手术室、病房也参照GMP的要求,对洁净室(区)进行环境检测。医疗单位不同级别的手术室的细菌浓度,既要考虑到相应的洁净度级别,又要考虑到手术室的特定控制要求。比较高一级主要考虑心脏外科、***移植和关节置换等手术的要求,菌浓度定为5CFU/m3。病房的消毒灭菌要求高,这些消毒药物对金属和橡胶有较强的腐蚀性,要多加注意。在选用送回风口、过滤器和阻尼层时要考虑这些因素。
洁净室里人员的要求
洁净室工作的人员要定期接受污染控制理论培训。他们通过气闸,空气淋浴器和/或更衣室进出洁净室,他们必须穿专门设计的衣服,包裹住皮肤和身体自然产生的污染物。
根据洁净室的分类或功能,工作人员的着装可能只需实验服和头套简单防护,也可能完全包裹的不暴露任何皮肤的全身防护。
洁净服是用来防止颗粒和或微生物从穿着者的身体释放和污染环境。洁净服本身不得释放颗粒或纤维,以防止污染环境。这种类型的人员污染可以降低半导体和制药工业中的产品性能,并且它可以导致例如医疗保健行业中的医务人员和患者之间的交叉污染。
洁净防护装备包括防护服、靴子,鞋子,围裙,胡须套,圆帽,口罩,工装/实验服,长袍,手套和指套,袖套和鞋、靴套。所用洁净服的类型应反映洁净室和产品类别。低级别的洁净室可能需要特殊的鞋,鞋底完全光滑,不会站上灰尘或污垢。但是考虑到安全原因,鞋底又不能造成滑倒的危险。进入洁净室通常都需要穿洁净服。10,000级洁净室可以使用简单的实验服,头套和鞋套。对于100级洁净室,需要全身包裹,带拉链的防护服、护目镜、口罩、手套和靴套。
此外还要控制洁净室内人员的数量,平均4~6m2/人,操作要轻缓,避免大幅度和快速移动。 风机过滤单元(FFU)是一种空气自净装置,可室内吊顶安装或放置在支架上,使局部级别达到百级。
(三)洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类
1.乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再运行,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。北京洁净室检测值得推荐
按所需控制的空气中悬浮微粒分类,可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。山东排风柜检测认真负责
3、照度
a)在工作台面上,沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点,测量点之间的距离不超过300mm,与侧壁距离为150mm;
b)关掉安全柜的灯,从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx;
4、下降气流流速
在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速;
a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,测试点**少应有3排,每排**少应有7个测量点;
b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。
5、流入气流流速
测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)
a)用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm;
b)计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s);
c)排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s); 山东排风柜检测认真负责
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