8.1.1洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定:1洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。2干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。3易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。4当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。8.1.2洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。8.1.3工业管道设计应符合下列规定:1应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。2在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。8.1.4工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。8.1.5可燃气体管道、氧气管道的末端或比较高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m,并应有防雨、防杂物侵入的措施。
管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。北京静电洁净室检测范围
12.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构,并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4.3洁净室(区)内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。12.4.4净化空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护。12.4.5在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。温湿度洁净室检测方法一般情况下,净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。
D.3.5气流流型的检测,应符合下列规定:1气流流型的检测,宜采用气流目测法。2气流目测法有示踪线法、示踪剂注人法,并应用图像处理技术记录和处理。示踪线法所用纤维或示踪剂的微粒都不应成为洁净室(区)的一种污染源。3示踪线法应为通过观察放置在测试杆末端或气流中细钢丝格栅上的丝线或单根尼龙纤维等,直接目测得到气流方向或因干扰引起的波动。4示踪剂注入法,可采用纯水喷雾或化学法生成的乙醇/正二醇等示踪剂粒子的特性,在**度光源下进行观察或做成图像。5应采用图像处理技术进***流目测,本法一般是与示踪法结合,将在摄像机或膜上的粒子图像等经技术处理得到气流特性。6气流目测的测点位置、仪器等,应根据洁净室(区)的具体条件洽商确定。
7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1.2气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7.1.3有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置:1运行班次或使用时间不同;2生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响;3对温、湿度控制要求差别大;4洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊;5净化空调系统与一般空调系统,6系统风量过大的净化空调系统。中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。
5.3.5洁净厂房空气吹淋室的设计,应符合下列要求:1在洁净室(区)的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;2吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位;3单人空气吹淋室,应按比较大班人数每30人设一台。洁净室(区)工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;4空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;5空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区),宜设气闸室。5.3.6人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级,宜由外至内逐步洁净,室内可送入经过高效空气过滤的洁净空气。洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室(区)的空气洁净度等级;当设有洁净工作服洗涤室时,洗涤室的空气洁净度等级宜为8级。无菌操作间应根据检验品种的需要,保持对邻室的相对正压或相对负压,以防止外界污染空气的流入。上海洁净工作台洁净室检测哪家好
根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区。北京静电洁净室检测范围
8.2.1洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷却水)对水质、水温、水压、水量的要求确定,宜按生产、生活、消防分别设置的给水系统。8.2.2当设有危险化学品储存和分配室时,应根据化学品的物理化学性能和人身安全的要求,设置紧急淋浴器和洗眼器,其给水管道应环形敷设布置。8.2.3给水管道的管材及附件的选择,应符合下列要求:1给水系统的管材和附件的选用,应满足生产工艺和系统工作参数的要求;2埋地管道应耐腐蚀,并应具有承受相应地面荷载的能力;3生产设备循环冷却水给水和回水管道,应按生产工艺和水质要求,采用不锈钢管、钢塑管、塑料管等,不宜采用焊接钢管;4阀门及附件应采用与管材相同的材质。北京静电洁净室检测范围